為了更好地適應(yīng)大口徑大視場望遠(yuǎn)鏡的成像要求,在相機(jī)焦平面拼接多個(gè)CCD使其能夠覆蓋望遠(yuǎn)鏡的全視場成為大口徑大視場望遠(yuǎn)鏡光學(xué)相機(jī)設(shè)計(jì)的重點(diǎn)。本文系統(tǒng)地總結(jié)了當(dāng)前國內(nèi)外探測器平面度測量方法的最新研究進(jìn)展,對(duì)比了應(yīng)用較廣的掃描白光干涉儀、三角激光測量儀以及激光同軸位移器的特點(diǎn)。文章還結(jié)合了國外大口徑大視場望遠(yuǎn)鏡中的相機(jī)焦平面靶面拼接特點(diǎn),對(duì)其測量方法及設(shè)備進(jìn)行了詳細(xì)介紹和總結(jié)分析,為大口徑大視場地基光電望遠(yuǎn)鏡焦平面拼接探測器的平面度測量提供一定的經(jīng)驗(yàn)參考。

【文章頁數(shù)】：9 頁

【部分圖文】：

圖1光學(xué)系統(tǒng)成像原理圖

在焦深范圍內(nèi),成像質(zhì)量仍然能滿足光學(xué)系統(tǒng)性能需求。光學(xué)系統(tǒng)成像原理圖如圖1。由此可知對(duì)于給定的光學(xué)系統(tǒng),CCD靶面傾角誤差應(yīng)嚴(yán)格地限制在焦深范圍,否則將使部分靶面脫離光學(xué)系統(tǒng)像面,在光學(xué)系統(tǒng)視場范圍內(nèi)使得圖像有虛有實(shí),達(dá)不到系統(tǒng)的使用要求[3]。

圖2加州大學(xué)/利克天文臺(tái)用于CCD平面度測量的裝置示意圖[5]

該系統(tǒng)由一個(gè)激光器、一個(gè)放置CCD的X-Y平移臺(tái)、兩個(gè)反射鏡和一個(gè)用于探測反射激光束位置的照相機(jī)組成。激光束由第一面鏡子定向到被測表面上,然后從CCD表面反射到第二個(gè)鏡子引導(dǎo)光束到相機(jī)探測系統(tǒng)。如果移動(dòng)被測CCD,其表面的局部坡度發(fā)生變化,相機(jī)就會(huì)記錄下光點(diǎn)的移動(dòng)。通過掃描整個(gè)表....

圖3RGO測量方法光學(xué)原理圖[5]

這種技術(shù)的缺點(diǎn)是CCD必須是處于接通電源以及冷卻狀態(tài)的,并且冷卻需要很長時(shí)間,這大大延長了校正周期所需的時(shí)間,包括測量地形、校正傾斜度以及再次測量。所以需要很長的測量周期,此外,它還無法測量機(jī)械樣品。3.4干涉儀測量法

圖4干涉儀測量原理圖[7]

通過在干涉儀的一支光路中引入被測量,干涉儀的光程差就會(huì)發(fā)生變化,干涉條紋也會(huì)隨之變化,這時(shí)可測量出干涉條紋的變化量,就可以獲得與介質(zhì)折射率和幾何路程有關(guān)的一系列物理量和幾何量[6]。干涉儀測量原理圖如圖4所示。為了重建CCD的形狀,需要分析了非常窄的帶通光條紋圖,CCD之間的拼接....

本文編號(hào)：3965364