為了探究金剛石沉積過程中不同反應(yīng)氣氛下萃取基團(tuán)對(duì)金剛石表面活化的影響,基于金剛石的同質(zhì)外延生長機(jī)理,采用第一性原理平面波贗勢(shì)方法分析了三種萃取基團(tuán)（H、OH、Cl）在氫終止的金剛石[100]表面的吸附難易程度;并通過過渡態(tài)搜索計(jì)算,獲得了CH4/H2,CH4/H2/CH3COCH3,C2H5Cl/H2三種反應(yīng)氣氛下金剛石氫終止表面產(chǎn)生活性位點(diǎn)的反應(yīng)熱及活化能。經(jīng)對(duì)比分析后發(fā)現(xiàn),H、OH、Cl在氫終止金剛石表面的吸附能逐漸增強(qiáng),且Cl萃取金剛石表面氫原子產(chǎn)生活性空位的能壘最低。因而,在傳統(tǒng)的CH4/H2氣氛中引入氧元素或氯元素能有效降低金剛石表面活化所需的能量。 

【文章來源】：人工晶體學(xué)報(bào). 2019,48(03)北大核心

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 幾何建模與計(jì)算方法
    2.1 基底模型建立
    2.2 吸附能
    2.3 過渡態(tài)搜索
3 結(jié)果與討論
    3.1 吸附能差異分析
    3.2 反應(yīng)熱及能壘
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]Co元素對(duì)硬質(zhì)合金基底金剛石涂層膜基界面結(jié)合強(qiáng)度的影響[J]. 簡小剛,陳軍.  物理學(xué)報(bào). 2015(21)
[2]第一性原理研究Zn偏析對(duì)CuΣ5晶界的影響[J]. 孟凡順,李久會(huì),趙星.  物理學(xué)報(bào). 2014(23)

碩士論文
[1]高品質(zhì)CVD金剛石的合成及其在刻刀方面的應(yīng)用研究[D]. 鄭艷彬.吉林大學(xué) 2010



本文編號(hào)：3545994