微納技術(shù)的不斷發(fā)展,各種微納器件涌現(xiàn),廣泛應(yīng)用于工程材料、國防科研、生物技術(shù)等領(lǐng)域。微納技術(shù)已經(jīng)成為衡量國家尖端科學(xué)技術(shù)水平的指標(biāo)之一。而檢測技術(shù)與微納加工技術(shù)相輔相成,是加工精度的重要保障,檢測方法不斷的向高精度、快速三維檢測的方向發(fā)展。近年來,隨著光場相機的發(fā)展,作為計算光學(xué)成像領(lǐng)域的一個重要分支,光場成像技術(shù)不僅記錄了三維物體的空間強度,而且能夠捕獲物體輻射光線的傳播方向信息。這為解決空間深度信息提取、快速三維重建、高精度測量等問題提供了新途徑。光場成像技術(shù)高精度、快速三維檢測的特點得到越來越多的關(guān)注。因此,本文提出基于光場成像原理的微納結(jié)構(gòu)檢測方法,對光場檢測原理、光場深度提取方法、微透鏡陣列設(shè)計加工和檢測系統(tǒng)進(jìn)行了深入的理論和應(yīng)用研究,旨在搭建一套完備的實驗系統(tǒng),對理論方法進(jìn)行驗證,為光場顯微檢測領(lǐng)域提供可靠的參考。具體開展的研究工作和取得的研究結(jié)果如下。第一,研究光場成像當(dāng)前理論成果,結(jié)合仿真實驗,對檢測光學(xué)模型和數(shù)學(xué)模型進(jìn)行研究。對光場圖像的基本處理方法進(jìn)行分析,結(jié)合實際光場圖像和仿真圖像進(jìn)行分析。分別對光場重聚焦、光場極平面圖像(Epipolar Plane Image...

【文章頁數(shù)】：143 頁

【學(xué)位級別】：博士

本文編號：3881929