基于機(jī)器視覺(jué)的同時(shí)測(cè)試半導(dǎo)體致冷器件晶粒兩個(gè)表面的光學(xué)檢測(cè)裝置的研究
發(fā)布時(shí)間:2021-01-15 06:48
機(jī)器視覺(jué)是用機(jī)器代替人的眼睛來(lái)測(cè)量和判斷的一種設(shè)備。傳統(tǒng)的機(jī)器視覺(jué)光學(xué)自動(dòng)檢測(cè)裝置都使用一個(gè)攝像頭和一個(gè)照明光源來(lái)檢測(cè)待測(cè)物體的一個(gè)表面。如果需要檢測(cè)多個(gè)表面,則需要含多組攝像頭的機(jī)器視覺(jué)光學(xué)檢測(cè)設(shè)備。用這種方式來(lái)完成檢測(cè)任務(wù)有成本高與可靠性低的缺點(diǎn)。本文提出并研究了兩種新型的光學(xué)檢測(cè)裝置,它們可以同時(shí)檢測(cè)同一物體(半導(dǎo)體致冷器件晶粒)的兩個(gè)面。采用MIL10軟件分析處理了所采集的圖片,獲得了初步的檢測(cè)實(shí)驗(yàn)結(jié)果。該檢測(cè)技術(shù)方案具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便、成本低等優(yōu)點(diǎn)。第一章詳細(xì)介紹了機(jī)器視覺(jué)行業(yè)發(fā)展近況、半導(dǎo)體致冷器件晶粒檢測(cè)課題研究目的和意義,對(duì)本文的主要內(nèi)容與創(chuàng)新點(diǎn)進(jìn)行了簡(jiǎn)要的說(shuō)明。第二章描述了光學(xué)自動(dòng)檢測(cè)系統(tǒng)的總體構(gòu)成與工作原理。該系統(tǒng)主要包括光學(xué)成像模塊與軟件處理模塊,其中光學(xué)成像模塊由相機(jī)、成像鏡頭和照明光源構(gòu)成。光學(xué)成像模塊用于采集半導(dǎo)體致冷器件晶粒的圖像,而軟件處理模塊則對(duì)光學(xué)成像模塊所成圖像進(jìn)行處理。第三章提出并研究了一種可以同時(shí)測(cè)試相對(duì)兩個(gè)面的光學(xué)檢測(cè)裝置。該光學(xué)檢測(cè)裝置主要?jiǎng)?chuàng)新之處在于將二次反射直角棱鏡置于待測(cè)物體下方,使其對(duì)物體下表面起光學(xué)轉(zhuǎn)像的作用。工作原理為:待測(cè)...
【文章來(lái)源】: 蘇龍龍 福建師范大學(xué)
【文章頁(yè)數(shù)】:54 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
環(huán)形照明光源
福建師范大學(xué)蘇龍龍碩士學(xué)位論文12光通過(guò)拱形碗狀的反射形成散射照明光,實(shí)現(xiàn)對(duì)彎曲的金屬表面實(shí)現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測(cè),不平坦的光滑表面字符的檢測(cè),金屬或鏡面的表面檢測(cè),均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構(gòu)成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點(diǎn),適合大幅面尺寸檢測(cè)。并且使用靈活,既可以安裝在高處達(dá)到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測(cè)印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測(cè)。另外,條形照明光源可以與線掃描相機(jī)配合使用檢測(cè)缺陷,如包裝產(chǎn)品的文字、形狀識(shí)別檢測(cè)。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經(jīng)漫射板近似平行均勻出射,光線通過(guò)半透半反鏡后,50%的光線透過(guò)半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經(jīng)被檢測(cè)物反射后再次透過(guò)半透半反鏡射入相機(jī)成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測(cè),如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測(cè),Mark點(diǎn)定位,包裝條碼識(shí)別等。
福建師范大學(xué)蘇龍龍碩士學(xué)位論文12光通過(guò)拱形碗狀的反射形成散射照明光,實(shí)現(xiàn)對(duì)彎曲的金屬表面實(shí)現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測(cè),不平坦的光滑表面字符的檢測(cè),金屬或鏡面的表面檢測(cè),均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構(gòu)成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點(diǎn),適合大幅面尺寸檢測(cè)。并且使用靈活,既可以安裝在高處達(dá)到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測(cè)印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測(cè)。另外,條形照明光源可以與線掃描相機(jī)配合使用檢測(cè)缺陷,如包裝產(chǎn)品的文字、形狀識(shí)別檢測(cè)。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經(jīng)漫射板近似平行均勻出射,光線通過(guò)半透半反鏡后,50%的光線透過(guò)半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經(jīng)被檢測(cè)物反射后再次透過(guò)半透半反鏡射入相機(jī)成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測(cè),如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測(cè),Mark點(diǎn)定位,包裝條碼識(shí)別等。
本文編號(hào):2978445
【文章來(lái)源】: 蘇龍龍 福建師范大學(xué)
【文章頁(yè)數(shù)】:54 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
環(huán)形照明光源
福建師范大學(xué)蘇龍龍碩士學(xué)位論文12光通過(guò)拱形碗狀的反射形成散射照明光,實(shí)現(xiàn)對(duì)彎曲的金屬表面實(shí)現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測(cè),不平坦的光滑表面字符的檢測(cè),金屬或鏡面的表面檢測(cè),均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構(gòu)成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點(diǎn),適合大幅面尺寸檢測(cè)。并且使用靈活,既可以安裝在高處達(dá)到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測(cè)印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測(cè)。另外,條形照明光源可以與線掃描相機(jī)配合使用檢測(cè)缺陷,如包裝產(chǎn)品的文字、形狀識(shí)別檢測(cè)。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經(jīng)漫射板近似平行均勻出射,光線通過(guò)半透半反鏡后,50%的光線透過(guò)半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經(jīng)被檢測(cè)物反射后再次透過(guò)半透半反鏡射入相機(jī)成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測(cè),如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測(cè),Mark點(diǎn)定位,包裝條碼識(shí)別等。
福建師范大學(xué)蘇龍龍碩士學(xué)位論文12光通過(guò)拱形碗狀的反射形成散射照明光,實(shí)現(xiàn)對(duì)彎曲的金屬表面實(shí)現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測(cè),不平坦的光滑表面字符的檢測(cè),金屬或鏡面的表面檢測(cè),均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構(gòu)成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點(diǎn),適合大幅面尺寸檢測(cè)。并且使用靈活,既可以安裝在高處達(dá)到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測(cè)印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測(cè)。另外,條形照明光源可以與線掃描相機(jī)配合使用檢測(cè)缺陷,如包裝產(chǎn)品的文字、形狀識(shí)別檢測(cè)。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經(jīng)漫射板近似平行均勻出射,光線通過(guò)半透半反鏡后,50%的光線透過(guò)半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經(jīng)被檢測(cè)物反射后再次透過(guò)半透半反鏡射入相機(jī)成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測(cè),如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測(cè),Mark點(diǎn)定位,包裝條碼識(shí)別等。
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