基于機器視覺的同時測試半導體致冷器件晶粒兩個表面的光學檢測裝置的研究
發(fā)布時間:2021-01-15 06:48
機器視覺是用機器代替人的眼睛來測量和判斷的一種設備。傳統(tǒng)的機器視覺光學自動檢測裝置都使用一個攝像頭和一個照明光源來檢測待測物體的一個表面。如果需要檢測多個表面,則需要含多組攝像頭的機器視覺光學檢測設備。用這種方式來完成檢測任務有成本高與可靠性低的缺點。本文提出并研究了兩種新型的光學檢測裝置,它們可以同時檢測同一物體(半導體致冷器件晶粒)的兩個面。采用MIL10軟件分析處理了所采集的圖片,獲得了初步的檢測實驗結果。該檢測技術方案具有結構簡單、安裝方便、成本低等優(yōu)點。第一章詳細介紹了機器視覺行業(yè)發(fā)展近況、半導體致冷器件晶粒檢測課題研究目的和意義,對本文的主要內容與創(chuàng)新點進行了簡要的說明。第二章描述了光學自動檢測系統(tǒng)的總體構成與工作原理。該系統(tǒng)主要包括光學成像模塊與軟件處理模塊,其中光學成像模塊由相機、成像鏡頭和照明光源構成。光學成像模塊用于采集半導體致冷器件晶粒的圖像,而軟件處理模塊則對光學成像模塊所成圖像進行處理。第三章提出并研究了一種可以同時測試相對兩個面的光學檢測裝置。該光學檢測裝置主要創(chuàng)新之處在于將二次反射直角棱鏡置于待測物體下方,使其對物體下表面起光學轉像的作用。工作原理為:待測...
【文章來源】: 蘇龍龍 福建師范大學
【文章頁數(shù)】:54 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
環(huán)形照明光源
福建師范大學蘇龍龍碩士學位論文12光通過拱形碗狀的反射形成散射照明光,實現(xiàn)對彎曲的金屬表面實現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測,不平坦的光滑表面字符的檢測,金屬或鏡面的表面檢測,均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點,適合大幅面尺寸檢測。并且使用靈活,既可以安裝在高處達到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測。另外,條形照明光源可以與線掃描相機配合使用檢測缺陷,如包裝產品的文字、形狀識別檢測。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經漫射板近似平行均勻出射,光線通過半透半反鏡后,50%的光線透過半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經被檢測物反射后再次透過半透半反鏡射入相機成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測,如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測,Mark點定位,包裝條碼識別等。
福建師范大學蘇龍龍碩士學位論文12光通過拱形碗狀的反射形成散射照明光,實現(xiàn)對彎曲的金屬表面實現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測,不平坦的光滑表面字符的檢測,金屬或鏡面的表面檢測,均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點,適合大幅面尺寸檢測。并且使用靈活,既可以安裝在高處達到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測。另外,條形照明光源可以與線掃描相機配合使用檢測缺陷,如包裝產品的文字、形狀識別檢測。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經漫射板近似平行均勻出射,光線通過半透半反鏡后,50%的光線透過半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經被檢測物反射后再次透過半透半反鏡射入相機成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測,如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測,Mark點定位,包裝條碼識別等。
本文編號:2978445
【文章來源】: 蘇龍龍 福建師范大學
【文章頁數(shù)】:54 頁
【學位級別】:碩士
【部分圖文】:
環(huán)形照明光源
福建師范大學蘇龍龍碩士學位論文12光通過拱形碗狀的反射形成散射照明光,實現(xiàn)對彎曲的金屬表面實現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測,不平坦的光滑表面字符的檢測,金屬或鏡面的表面檢測,均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點,適合大幅面尺寸檢測。并且使用靈活,既可以安裝在高處達到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測。另外,條形照明光源可以與線掃描相機配合使用檢測缺陷,如包裝產品的文字、形狀識別檢測。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經漫射板近似平行均勻出射,光線通過半透半反鏡后,50%的光線透過半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經被檢測物反射后再次透過半透半反鏡射入相機成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測,如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測,Mark點定位,包裝條碼識別等。
福建師范大學蘇龍龍碩士學位論文12光通過拱形碗狀的反射形成散射照明光,實現(xiàn)對彎曲的金屬表面實現(xiàn)均勻的照明。主要用于曲面形狀的缺陷檢測,不平坦的光滑表面字符的檢測,金屬或鏡面的表面檢測,均勻性和穩(wěn)定性非常突出。圖2.2穹頂照明光源(3)條形照明光源條形照明光源由高密度LED陣列構成,具有亮度高,均勻性好的優(yōu)點,適合大幅面尺寸檢測。并且使用靈活,既可以安裝在高處達到高角度直接照明效果,也可以安裝于低處作為低角度照明使用。條形照明光源可以用于檢測印刷在包裝箱上的文字,金屬表面檢查,LCD面板檢測。另外,條形照明光源可以與線掃描相機配合使用檢測缺陷,如包裝產品的文字、形狀識別檢測。圖2.3條形照明光源(4)同軸照明光源同軸照明光源主要由散熱器、LED陣列、漫射版、半透半反鏡、吸光板等材料組成,其中半透半反鏡與水平面呈45度角。LED陣列發(fā)出的光經漫射板近似平行均勻出射,光線通過半透半反鏡后,50%的光線透過半透半反鏡打向吸光板被吸收;另外50%的光線垂直射向物體,經被檢測物反射后再次透過半透半反鏡射入相機成像。同軸照明光源主要用于反射程度高的物體檢測,如金屬,玻璃,膠片,晶片等表面的刮傷,破損檢測,Mark點定位,包裝條碼識別等。
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