智能窗是一種能夠根據(jù)外界環(huán)境溫度變化而改變自身紅外透過率的窗戶,從而達(dá)到節(jié)能環(huán)保的作用。就智能窗材料的選取方面,VO2薄膜材料因?yàn)榫哂袩嶂伦兩匦远艿酱蠖鄶?shù)人的密切關(guān)注。在相變溫度前后,VO2薄膜材料不管是結(jié)構(gòu)還是光電特性都會(huì)發(fā)生很大的變化,并且這種變化是可逆的。本文首先通過多層膜矩陣計(jì)算理論、修正的Sellmeier色散模型和經(jīng)典Preisach理論模型分別建立了VO2/FTO復(fù)合薄膜變溫光學(xué)模型和新型的Preisach理論模型。基于這兩種模型計(jì)算分析了VO2/FTO復(fù)合薄膜的光學(xué)特性和電學(xué)特性,并與磁控濺射法制備的復(fù)合薄膜樣品的光電特性分別進(jìn)行比較,結(jié)果顯示兩者的結(jié)果較為一致。研究表明,隨著VO2/FTO復(fù)合薄膜的厚度增加,其透過率會(huì)降低,熱滯回線變寬,相變溫度降低,這主要是受復(fù)合薄膜的結(jié)晶性影響。然后,在室溫條件下利用磁控濺射法在導(dǎo)電玻璃FTO基底上鍍上一層金屬釩薄膜,再通過后退火工藝使金屬釩薄膜氧化成VO2,從而得到具有熱致變色的VO2/FTO復(fù)合薄膜,同時(shí)還研究并分析了一些工藝參數(shù)對(duì)復(fù)合薄膜特性的影響,完善了制備VO2/FTO復(fù)合薄膜的工藝流程,從而獲得了最佳工藝參數(shù)。最后... 

【文章來源】：上海理工大學(xué)上海市

【文章頁數(shù)】：51 頁

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
中文摘要
ABSTRACT
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀
    1.3 熱致變色薄膜的應(yīng)用
    1.4 課題研究的目的和意義
    1.5 課題研究的創(chuàng)新點(diǎn)
    1.6 本章小結(jié)
第二章 復(fù)合薄膜的結(jié)構(gòu)和理論分析
    2.1 復(fù)合薄膜光學(xué)特性理論分析
        2.1.1 多層薄膜矩陣計(jì)算理論
        2.1.2 復(fù)合薄膜變溫光學(xué)模型
    2.2 復(fù)合薄膜電學(xué)特性理論分析
        2.2.1 經(jīng)典Preisach理論模型
        2.2.2 新型Preisach理論模型
    2.3 本章小結(jié)
2/FTO復(fù)合薄膜的制備">第三章 VO₂/FTO復(fù)合薄膜的制備
    3.1 薄膜的制備方法概述
        3.1.1 濺射法
        3.1.2 真空蒸發(fā)法
        3.1.3 溶膠-凝膠法
        3.1.4 脈沖激光沉積法
2/FTO復(fù)合薄膜的工藝流程">    3.2 制備VO₂/FTO復(fù)合薄膜的工藝流程
2/FTO復(fù)合薄膜的因素">    3.3 影響VO₂/FTO復(fù)合薄膜的因素
        3.3.1 濺射時(shí)間對(duì)復(fù)合薄膜的影響
        3.3.2 濺射功率對(duì)復(fù)合薄膜的影響
        3.3.3 濺射時(shí)工作壓力對(duì)復(fù)合薄膜的影響
        3.3.4 退火溫度和退火時(shí)間對(duì)復(fù)合薄膜的影響
    3.4 本章小結(jié)
2/FTO復(fù)合薄膜的特性測(cè)試與分析">第四章 VO₂/FTO復(fù)合薄膜的特性測(cè)試與分析
2/FTO復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)分析">    4.1 VO₂/FTO復(fù)合薄膜結(jié)構(gòu)分析
        4.1.1 X射線衍射分析
        4.1.2 電子顯微鏡測(cè)試
2/FTO復(fù)合薄膜光學(xué)特性分析">    4.2 VO₂/FTO復(fù)合薄膜光學(xué)特性分析
2/FTO復(fù)合薄膜電學(xué)特性分析">    4.3 VO₂/FTO復(fù)合薄膜電學(xué)特性分析
    4.4 本章小結(jié)
第五章 全文總結(jié)
參考文獻(xiàn)
在讀期間公開發(fā)表的論文和承擔(dān)科研項(xiàng)目及取得成果
致謝


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：2939907