本文選題：晶圓　切入點：閾值　出處：《電子技術(shù)應(yīng)用》2017年12期

【摘要】：晶圓目標提取是晶粒計數(shù)系統(tǒng)的重要處理環(huán)節(jié),是確保晶粒計數(shù)準確度的前提條件。目前主要應(yīng)用閾值化方法將晶圓目標從背景中提取出來,由于離型紙固有因素影響,造成成像灰度不均勻,嚴重影響晶圓目標范圍的有效識別。系統(tǒng)通過對光源的閉環(huán)控制,取得合適亮度的晶圓圖像后,在Harris輪廓點的外圍區(qū)域確定邊界,通過內(nèi)部區(qū)域?qū)吔绲倪B接度來檢測區(qū)域中的晶圓視覺顯著性目標。試驗證明,該系統(tǒng)能精確地在離型紙背景上有效提取晶圓目標。
[Abstract]:Wafer target extraction is an important part of grain counting system and a precondition to ensure the accuracy of grain counting. At present, the thresholding method is mainly used to extract wafer target from background, which is affected by the inherent factors of release paper. The image grayscale is uneven, which seriously affects the effective recognition of the target range of the wafer. After obtaining the appropriate brightness wafer image through the closed loop control of the light source, the boundary is determined in the peripheral region of the Harris contour. The wafer visual salience target in the region is detected by the connection degree of the inner region to the boundary. The experiment shows that the system can extract the wafer target accurately on the background of the parting paper.
【作者單位】： 無錫職業(yè)技術(shù)學院物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)學院;深圳市艾特智能科技有限公司;
【基金】：國家自然科學基金項目(61502204)
【分類號】：TN312.8;TP391.41

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本文編號：1682944