本文選題：精密運動平臺　切入點：減振系統(tǒng)　出處：《華中科技大學(xué)》2016年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

【摘要】：精密運動平臺是IC制造裝備的核心部件,減振系統(tǒng)作為精密運動平臺的一個不可或缺的組成部分,為平臺的平穩(wěn)運行提供超靜環(huán)境保障,因而其設(shè)計成為精密運動平臺設(shè)計中關(guān)鍵的環(huán)節(jié)。隨著精密運動平臺的運行精度不斷提高達(dá)到了納米級別,專業(yè)仿真分析軟件工具的支持成為減振系統(tǒng)設(shè)計的關(guān)鍵。由于目前尚缺乏減振系統(tǒng)建模、仿真分析的專用軟件,本文開發(fā)了精密運動平臺減振系統(tǒng)設(shè)計與仿真軟件。本文的主要工作如下:通過對精密運動平臺減振系統(tǒng)設(shè)計過程進行分析,發(fā)現(xiàn)減振系統(tǒng)建模存在多領(lǐng)域統(tǒng)一建模、高精度、高效率三個關(guān)鍵點。另外,基于文件的減振系統(tǒng)設(shè)計實例管理繁瑣不便,用戶交互性差。針對這兩個關(guān)鍵問題,論文提出了軟件的兩個主要功能需求,即模板庫和實例池;然后設(shè)計了軟件架構(gòu)和數(shù)據(jù)結(jié)構(gòu);針對軟件的模板庫功能需求,先對減振系統(tǒng)組件進行動力學(xué)特性分析,然后在基于Modelica語言的多領(lǐng)域統(tǒng)一建模平臺MWorks中建立組件的動力學(xué)模型,接著對組件模型進行封裝,提取動力學(xué)特征參數(shù)形成組件模板從而建立減振系統(tǒng)模板庫。用戶基于該模板庫能夠快速的搭建減振系統(tǒng)模型同時能夠保證建模的高精度。針對軟件的實例池功能需求,通過對減振系統(tǒng)設(shè)計實例的研究,探明了設(shè)計實例包含的內(nèi)容,并明確了設(shè)計實例中各部分內(nèi)容的關(guān)系模型。同時還研究了設(shè)計實例檢索的方法,為用戶查閱實例和重用實例提供了方便。完成上面的研究工作之后,基于C++Builder開發(fā)了減振系統(tǒng)設(shè)計與仿真軟件。最后根據(jù)特定的減振系統(tǒng)設(shè)計指標(biāo),搭建了減振系統(tǒng)模型并進行仿真分析,分析結(jié)果表明該模型能夠滿足設(shè)計要求,以此驗證了軟件功能。
[Abstract]:Precision motion platform is the core component of IC manufacturing equipment. As an indispensable part of precision motion platform, vibration absorption system provides ultra static environment guarantee for the smooth operation of the platform. As a result, its design has become a key link in the design of precision motion platform. With the continuous improvement of the precision of the precision motion platform, it has reached the nanometer level. The support of professional simulation and analysis software tool is the key to the design of vibration absorption system. Due to the lack of modeling of vibration absorption system at present, the special software for simulation analysis, The main work of this paper is as follows: through the analysis of the design process of the vibration absorption system of the precision motion platform, it is found that the modeling of the damping system has multi-domain unified modeling and high precision. There are three key points of high efficiency. In addition, the design case management of the vibration absorber system based on file is cumbersome and inconvenient, and the user interaction is poor. In view of these two key problems, the paper puts forward two main functional requirements of the software, that is, template library and case pool; Then, the software architecture and data structure are designed, and the dynamic characteristics of the vibration absorption system components are analyzed firstly according to the functional requirements of the template library, and then the dynamic model of the components is established in the multi-domain unified modeling platform MWorks based on the Modelica language. Then encapsulate the component model, Dynamic characteristic parameters are extracted to form the component template to establish the template library of the vibration absorption system. Based on the template library, the user can quickly build the model of the damping system and ensure the high accuracy of the modeling. Through the study of the design example of the vibration absorption system, the contents of the design example are found out, and the relation model of each part of the design example is clarified. At the same time, the method of the retrieval of the design case is also studied. After the above research work is completed, the design and simulation software of the damping system based on C Builder is developed. Finally, according to the specific design index of the damping system, The vibration absorption system model is built and simulated. The results show that the model can meet the design requirements and verify the function of the software.
【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TP311.52;TN305.7

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1600010