本文關(guān)鍵詞： 顯微成像 共聚焦干涉 表面等離子體 成像系統(tǒng) 納米檢測　出處：《北京航空航天大學學報》2017年07期 　論文類型：期刊論文

【摘要】：表面等離子體(SPs)顯微成像技術(shù)能夠在納米尺度上對材料折射率的局部變化以及材料的表面形貌進行檢測,這一特性使其在生物醫(yī)療及半導(dǎo)體材料等領(lǐng)域有很多的應(yīng)用。提出一種新型共軸共聚焦干涉式表面等離子體顯微成像技術(shù),該技術(shù)可以定量地對折射率變化進行檢測,而且具有實現(xiàn)簡單、成本低、對環(huán)境條件要求低、信噪比高等優(yōu)點。采用壓電陶瓷微納米移動平臺在顯微物鏡的焦面附近對樣品進行掃描,SPs信號與參考光的相對相位會改變從而產(chǎn)生一個周期性的振蕩信號即V(z)曲線。同時該技術(shù)能夠通過控制樣品的離焦距離來實現(xiàn)圖像對比度的可控,而且這一舉措不會顯著地降低圖像的分辨率及對比度。也分別從理論仿真和實驗結(jié)果上證明了該技術(shù)的可行性。
[Abstract]:Surface plasma SPS (Surface Plasma Spectroscopy) microimaging technique can be used to detect the local change of refractive index and the surface morphology of materials at nanometer scale. It has many applications in biomedicine and semiconductor materials. A new coaxial confocal interferometric surface plasma microimaging technique is proposed, which can quantitatively detect refractive index change. And has the realization simple, the cost is low, the request to the environment condition is low, Using piezoelectric ceramic micro / nano moving platform to scan the sample near the focal plane of the objective lens and the relative phase of the reference light will change, which will produce a periodic oscillation signal, that is, the Vapor zag curve, which has the advantages of high signal-to-noise ratio (SNR). At the same time, the technology can control the contrast of the image by controlling the defocus distance of the sample. Moreover, this method does not significantly reduce the resolution and contrast of the image, and the feasibility of the technique is proved by theoretical simulation and experimental results.
【作者單位】： 北京航空航天大學自動化科學與電氣工程學院;中國人民大學理學院;
【基金】：國家自然科學基金(61405006,11304381) 虛擬現(xiàn)實技術(shù)與系統(tǒng)國家重點實驗室開放基金(BUAA-VR-15KF-04) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費專項資金(YWF-14-ZDHXY-09) 北京航空航天大學優(yōu)青培育基金(YWF-15-6)~~
【分類號】：O53;TP391.41

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本文編號：1506268