為研究保持環(huán)超聲振動(dòng)對(duì)拋光試件和拋光墊間流場(chǎng)性能的影響,利用COMSOL Multiphysics軟件分別針對(duì)實(shí)體研拋盤和有孔拋光墊,對(duì)研拋區(qū)流體進(jìn)行了有限元建模與仿真,分析了試件保持環(huán)超聲振動(dòng)的頻率、振幅對(duì)研拋區(qū)流體的速度、壓力及氣含率分布的影響規(guī)律。仿真結(jié)果表明:超聲振動(dòng)會(huì)使流體的速度與壓力劇烈變化,在保持環(huán)振子下方產(chǎn)生極強(qiáng)的微射流,而試件下方的流速變化較為平緩;隨著超聲頻率或振幅的增加,流體內(nèi)的最大速度、最大壓力以及最大氣含率線性增加。和實(shí)體研拋盤相比,使用打孔拋光墊后,拋光試件下方流體最大速度減小數(shù)十倍,變化更加平穩(wěn),而最大壓力卻增大了百余倍,試件底面處的最大氣含率也有所增大,空化效應(yīng)更加強(qiáng)烈,更有利于在拋光過(guò)程中生成化學(xué)反應(yīng)自由基與提高材料去除率。 

【文章來(lái)源】：哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報(bào). 2019,40(12)北大核心EICSCD

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【文章目錄】：
1 超聲振動(dòng)對(duì)流場(chǎng)的影響
    1.1 建立二維流場(chǎng)模型
    1.2 仿真結(jié)果分析
        1.2.1 超聲頻率對(duì)流場(chǎng)的影響
        1.2.2 超聲振幅對(duì)流場(chǎng)的影響
2 多孔拋光墊對(duì)流場(chǎng)的影響
3 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3459015