隨著半導(dǎo)體行業(yè)中集成電路和功效器件變得越來越小,其中包含的微通道越來越多,這對微通道表面的潔凈度要求也越來越高。如果微通道表面不潔凈或有損傷,后續(xù)的工藝將無法進(jìn)行,每年因清洗問題造成的損失達(dá)到總體損失的一半,綠色清洗技術(shù)已經(jīng)成為影響著該行業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵技術(shù)。以超臨界二氧化碳做為綠色清洗溶劑清洗微通道中的微細(xì)顆粒,能夠克服傳統(tǒng)清洗方法帶來的諸多缺點(diǎn)。因此很有必要展開對微通道中超臨界二氧化碳流動特性及其對微細(xì)顆粒作用的模擬分析工作。本文首先借助COMSOL Multiphysic軟件采用連續(xù)性方法對微通道中介質(zhì)為水的流動特性進(jìn)行數(shù)值模擬,將結(jié)果與已有文獻(xiàn)中的實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行對比。然后在對比結(jié)果一致的情況下,利用該方法對微通道中超臨界二氧化碳的流動特性進(jìn)行模擬。研究包括不同雷諾數(shù)和微通道結(jié)構(gòu)對流體的動力進(jìn)口長度與阻力特性的影響,并將結(jié)果與宏觀流動進(jìn)行比較以發(fā)現(xiàn)不同。接著以單個微細(xì)顆粒為對象分析其在微通道中的受力,通過模型簡化,研究清洗過程中超臨界二氧化碳對微細(xì)顆粒的作用。模擬得到在不同顆粒大小、流動雷諾數(shù)、環(huán)境壓力下微細(xì)顆粒升力特性、慣性聚集位置、顆粒速度分布等的變化規(guī)律。為實(shí)際工程中超臨界二氧化... 

【文章來源】：華北電力大學(xué)河北省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁數(shù)】：72 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

Navier滑移邊界條件近年來，不斷有實(shí)驗(yàn)證明了這一理論的正確性

d=230μm時不同雷諾數(shù)下水的流動阻力系數(shù)曲線

Re=49微圓管軸線上的速度分布


本文編號：3396845