本文關(guān)鍵詞：摻雜單晶硅納米梁的諧振頻率特性　出處：《新疆大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版)》2016年04期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 單晶硅納米梁 摻雜 分子動力學(xué) 諧振頻率

【摘要】：摻雜有利于提高單晶硅納米材料的力學(xué)性能.本文主要通過分子動力學(xué)方法研究了摻雜濃度和尺寸對納米單晶硅梁諧振頻率的影響,結(jié)果表明:諧振頻率隨著單晶硅納米梁摻雜濃度的增大而增大,但值變化很小,對梁的諧振頻率影響并不明顯;同時,諧振頻率隨著單晶硅納米梁長度尺寸的增大而減小,隨著單晶硅納米梁厚度尺寸的增大而增大.由此可以得出結(jié)論:摻雜濃度會影響納米單晶硅梁的諧振頻率,但是影響較小,而影響其諧振頻率的主要因素是納米單晶硅梁的尺寸.
[Abstract]:Doping can improve the mechanical properties of monocrystalline silicon nanomaterials. The effects of doping concentration and size on resonant frequency of nanocrystalline monocrystalline silicon beams were studied by molecular dynamics. The results show that the resonant frequency increases with the increase of the doping concentration of monocrystalline silicon nanocrystalline beam, but the change of the value is very small, and the effect on the resonant frequency of the beam is not obvious. At the same time, the resonant frequency decreases with the increase of the length of monocrystalline silicon nanocrystalline beam. With the increase of the thickness and size of monocrystalline silicon nanocrystalline beam, it can be concluded that doping concentration will affect the resonant frequency of nanocrystalline silicon beam, but the influence is small. The size of nanocrystalline silicon beam is the main factor affecting its resonant frequency.
【作者單位】： 新疆大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11064014)
【分類號】：O327
【正文快照】： 0引言 單晶硅技術(shù)是現(xiàn)代集成電路技術(shù)的基礎(chǔ),同時納米硅也是制造NEMS的主要材料之一.納機電系統(tǒng)(NEMS)已有許多重要的應(yīng)用,如超大規(guī)模傳感器^、參數(shù)反饋振蕩器W、開關(guān)等.從長期可靠性的角度來看,這些諧振器的振動特性和機械性能,如楊氏模量和諧振頻率的研究是非常重要的,應(yīng)該

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