一種采用穴番-A敏感膜的新型聲表面波瓦斯傳感器的研究
本文關鍵詞:一種采用穴番-A敏感膜的新型聲表面波瓦斯傳感器的研究
【摘要】:本文利用籠形超分子材料穴番-A對甲烷分子的特異性包合作用,提出了一種能夠在室溫下工作的采用穴番-A敏感膜的新型聲表面波瓦斯傳感器。設計研制了中心頻率為300 MHz的低損耗、高Q值SAW諧振器,并以所研制的諧振器構成雙通道差分振蕩器。分別以點涂法和旋涂法在傳感通道SAW諧振器表面進行了敏感膜的鍍膜。通過實驗觀察對比了采用兩種鍍膜方式的SAW瓦斯傳感器在常溫下對5%甲烷氣體的響應。實驗結果顯示點涂鍍膜的傳感器響應約為1 k Hz,遠大于旋涂鍍膜方式。AFM表面形貌表征顯示了敏感膜表面粗糙度是造成這一差異的主要原因。實驗還研究了傳感器對不同濃度甲烷氣體的響應,結果表明傳感器響應隨氣體濃度降低而減小,兩者存在良好的線性關系,測試靈敏度為205 Hz/%,檢測下限約為0.2%。
【作者單位】: 中國科學院聲學研究所;防化研究院第四研究所;山西大學;
【關鍵詞】: 聲表面波 瓦斯傳感器 穴番-A 表面粗糙度
【基金】:國家自然科學基金項目(11274340)
【分類號】:TD712.55;TP212
【正文快照】: 井下煤礦瓦斯氣體超標是威脅我國煤炭安全生產(chǎn)的重大隱患。每年因井下瓦斯氣體泄漏爆炸引發(fā)的礦難事故時有發(fā)生,給國家和人民的生命財產(chǎn)帶來了難以估量的損失。為杜絕此類事故的發(fā)生,急需對礦內瓦斯氣體的濃度進行實時、快速、準確的檢測。瓦斯氣體的主要成分是甲烷,是一種無
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,本文編號:865916
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