本文關(guān)鍵詞：面向壓電泵脈動消除的流體濾波器設(shè)計與實驗

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【摘要】：設(shè)計了一種被動式流體濾波器,它由薄膜及微通道組成,旨在消除由壓電泵引起的流體脈動。對流體濾波器進行了理論分析,利用Comsol軟件建立濾波器的有限元模型,分別對薄膜變形以及微通道流阻進行數(shù)值計算,并分析了影響濾波效果的參數(shù)。仿真結(jié)果表明,當(dāng)微通道內(nèi)的流體阻力較大時,泵的驅(qū)動頻率越高,薄膜半徑越大,濾波效果更佳。通過實驗驗證,表明所設(shè)計的流體濾波器可以有效減小脈動,壓電泵能夠提供穩(wěn)定的流量。
【作者單位】： 蘇州大學(xué)機器人與微系統(tǒng)研究中心;蘇州納米科技協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】： 流體濾波器 流體脈動 微流量 壓電泵
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(“八六三”計劃)資助項目(2011AA040404) 高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金資助項目(20133201110009) 新世紀優(yōu)秀人才支持計劃資助項目(NCET-13-0923)
【分類號】：TH38
【正文快照】： 引言近年來,許多非機械泵被用來驅(qū)動微流動系統(tǒng),其驅(qū)動原理是電流體驅(qū)動[1]、電磁制動[2]和電滲[3]等,這類泵需要將電場、磁場等直接作用在流體之上,因此它們只能輸送特定組分的溶液,應(yīng)用范圍相對狹隘。壓電泵具有結(jié)構(gòu)簡單、體積小、重量輕、驅(qū)動力大、低泄漏、響應(yīng)時間短、耗

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本文編號：988191