本文關(guān)鍵詞：微小尺度下平板間氣體流動機理及壓力特性分析

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【摘要】：基于平板間氣膜內(nèi)氣體分子運動和碰撞的規(guī)律,提出氣膜分層理論,將板間氣膜內(nèi)的氣體劃分為近壁層、稀薄層、連續(xù)流層。給出了劃分稀薄層和連續(xù)流層的依據(jù),建立分層物理模型并提出每層的控制方程,驗證了分層理論的合理性。通過大規(guī)模原子/分子大型并行模擬器仿真板間氣膜內(nèi)氣體流態(tài)并計算沿高度方向的壓力,得出了如下結(jié)論:隨著板間氣體流速的增大,板間氣膜有效壓力減小,連續(xù)流層的厚度增大,稀薄層的厚度減小;當氣體流速到達一定值時,氣膜內(nèi)壓力不再分層,速度滑移現(xiàn)象可以忽略。
【作者單位】： 昆明理工大學;
【關(guān)鍵詞】： 微機電系統(tǒng) 微流體 速度滑移 Knudsen數(shù) 分子碰撞
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51305185)
【分類號】：O35;TH-39
【正文快照】： [12]朱心雄.自由曲線曲面造型技術(shù)[M].北京:科學出版社,2000.[13]Takeuchi Yoshimi,Asakawa Naoki,Ge Donfang.Automation of Polishing Work by an IndustrialRobot[J].JSME International Journal,1993,36(4):556-561.[14]熊有倫,丁漢,劉恩滄.機器人學[M].北京:機械工業(yè)出版

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

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本文編號：952157