本文關(guān)鍵詞：氣體靜壓軸承設(shè)計(jì)及關(guān)鍵零件加工工藝研究

  更多相關(guān)文章： 氣體靜壓止推軸承 誤差分析 吸附變形 補(bǔ)償車(chē)削

【摘要】：氣體靜壓主軸廣泛地應(yīng)用于精密、超精密機(jī)床設(shè)備中,其核心零件的加工精度是主軸性能優(yōu)劣的重要影響因素。本文以自主設(shè)計(jì)的氣體靜壓止推軸承為例,分析了典型制造誤差對(duì)軸承承載力及剛度等性能的影響,以誤差分析結(jié)果為基礎(chǔ)給出靜止推板的設(shè)計(jì)精度。對(duì)于亞微米精度要求的靜止推板,針對(duì)其裝夾微變形問(wèn)題,提出了變形誤差補(bǔ)償車(chē)削原理,即在機(jī)床上按吸附變形誤差的反誤差進(jìn)行加工,使靜止推板在去除真空吸附后的自由狀態(tài)下能達(dá)到高的面形精度。對(duì)鄜188 mm的靜止推板圓環(huán)面進(jìn)行了補(bǔ)償加工實(shí)驗(yàn),面形誤差快速收斂到1μm以下,達(dá)到了高精度的加工要求。
【作者單位】： 國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;超精密加工技術(shù)湖南省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 氣體靜壓止推軸承 誤差分析 吸附變形 補(bǔ)償車(chē)削
【基金】：應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放基金項(xiàng)目(Y2Q03FQK06)資助
【分類(lèi)號(hào)】：TH133.3
【正文快照】： 氣體靜壓主軸是精密、超精密裝備的關(guān)鍵部件[1],具有十分優(yōu)良的性能。然而,氣體靜壓主軸性能的優(yōu)劣在很大程度上取決于核心零件的加工精度[2]。氣體靜壓主軸要求徑向軸承組裝后總的制造誤差應(yīng)小于軸承半徑間隙的1/10~1/5,止推軸承端面與徑向軸承孔的垂直度誤差小于3μm[1],這

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：913090