本文關(guān)鍵詞：低溫泵的研究與應(yīng)用

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【摘要】：隨著人類(lèi)的進(jìn)步,來(lái)自地球深處的天然氣將成為環(huán)保能源重要發(fā)展方向。近年來(lái),隨著國(guó)際油價(jià)的一路飆升,市場(chǎng)對(duì)液化天然氣(LNG)的需求不斷增加,如何泵送深冷流體,已成為國(guó)內(nèi)外低溫學(xué)領(lǐng)域研究的重要課題。從低溫泵的概述、國(guó)內(nèi)外低溫泵的研究現(xiàn)狀、低溫泵的應(yīng)用和低溫泵的市場(chǎng)等方面對(duì)低溫泵進(jìn)行了綜述。
【作者單位】： 中國(guó)船舶重工集團(tuán)公司第七二五研究所;
【關(guān)鍵詞】： 低溫泵 液化天然氣 應(yīng)用 市場(chǎng)
【分類(lèi)號(hào)】：TH38
【正文快照】： 1低溫泵的概述1.1低溫泵的定義低溫泵是利用低溫表面冷凝氣體的真空泵,又稱(chēng)冷凝泵,它是獲得清潔真空的極限壓力最低、抽氣速率最大的真空泵,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體和集成電路的研究及生產(chǎn),以及分子束研究、真空鍍膜設(shè)備、真空表面分析儀器、離子注入機(jī)和空間模擬裝置等方面。按照工

【相似文獻(xiàn)】

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1 馮駒先;譚昱全;張霖;王碩;徐飛;徐中堂;干蜀毅;;低溫泵快速再生系統(tǒng)研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報(bào);2014年01期

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本文編號(hào)：840602