本文關(guān)鍵詞：軸承滾珠面型誤差激光干涉測量系統(tǒng)的研究

  更多相關(guān)文章： 相移干涉 軸承滾珠 波面擬合 調(diào)整誤差

【摘要】：在以激光干涉方法進(jìn)行軸承滾珠面型誤差測量時,為避免特制參考標(biāo)準(zhǔn)球面鏡自身球度誤差對測量結(jié)果的影響,提出了一種以平面鏡代替球面鏡的泰曼-格林軸承滾珠面形誤差干涉測量方法,并設(shè)計了相應(yīng)的測量系統(tǒng)。該方法基于相移干涉原理,通過計算機(jī)控制壓電晶體使參考平面鏡獲得固定步數(shù)的位移,以獲得多幅干涉圖像,使用電荷耦合圖像傳感器(CCD)對得到的干涉圖像進(jìn)行采集,系統(tǒng)對獲取圖像進(jìn)行相位提取解包裹運算以得到球面的面型誤差。對于測量中由軸承滾珠定位精度而引起的離焦、傾焦調(diào)整誤差,采用澤尼克多項式波面擬合的方法來消除其對測量結(jié)果的影響。實驗表明,該系統(tǒng)的測量結(jié)果與ZYGO干涉儀所得到的結(jié)果相比較,峰峰值相差0.001 6λ,均方根誤差相差0.004λ,能夠有效地對軸承滾珠面型進(jìn)行檢測,且測量結(jié)果具有較高的可靠性。此外,該方法還可進(jìn)一步推廣應(yīng)用于其他需要進(jìn)行圓球度測量的領(lǐng)域,具有廣泛應(yīng)用前景。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 相移干涉 軸承滾珠 波面擬合 調(diào)整誤差
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51375376)
【分類號】：TH133.33;TN24
【正文快照】： 滾動軸承在精密機(jī)械系統(tǒng)中具有廣泛的應(yīng)用,如作為航空發(fā)動機(jī)轉(zhuǎn)子系統(tǒng)支撐部件、高速鐵路車輛支撐部件、機(jī)床主軸重要組件等。滾珠作為滾動軸承的核心元件,承擔(dān)著減小摩擦、承載負(fù)載的作用,高精度的軸承滾珠可以增加軸承使用壽命,提高軸承旋轉(zhuǎn)精度。在滾珠的生產(chǎn)過程中,往往會，

本文編號：820898