本文關(guān)鍵詞：復(fù)雜支承條件下分子泵轉(zhuǎn)子動力學(xué)特性數(shù)值模擬與實驗研究

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【摘要】：為了有效提高復(fù)合分子泵轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的振動抑制效果,圍繞與其密切相關(guān)的支承結(jié)構(gòu)剛度特性展開研究。首先針對分子泵兩端復(fù)雜支承條件,采用實驗方法研究永磁軸承和橡膠減振墊的剛度特性;然后基于支承剛度特性建立分子泵轉(zhuǎn)子系統(tǒng)數(shù)值模擬模型,采用模態(tài)分析法求解轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的特征頻率及對應(yīng)振型,采用諧頻響應(yīng)分析法求解轉(zhuǎn)子系統(tǒng)在最大不平衡響應(yīng);最后搭建實驗平臺測試分子泵系統(tǒng)的振動特性。實驗結(jié)果表明:所建立的數(shù)值模擬模型能夠較好地預(yù)測分子泵轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的振動特性,合理設(shè)計分子泵支承結(jié)構(gòu)能夠有效提高分子泵轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的振動抑制效果。
【作者單位】： 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所;
【關(guān)鍵詞】： 分子泵 復(fù)雜支承 轉(zhuǎn)子動力學(xué) 數(shù)值模擬
【基金】：國家重大儀器設(shè)備開發(fā)專項“高速小型復(fù)合分子泵的開發(fā)與應(yīng)用”(2013YQ130429)
【分類號】：TH38
【正文快照】： 1引言復(fù)合式分子泵具有抽氣性能高、耗能低等優(yōu)勢,已經(jīng)成為質(zhì)譜分析、真空檢漏等高端儀器設(shè)備的關(guān)鍵功能部件,在真空領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用[1]。為了得到高真空度(10-9pa)環(huán)境,通常要求復(fù)合分子泵達到較高的轉(zhuǎn)速(72000r/min)。在啟動或者停止過程中,通過臨界轉(zhuǎn)速時不可避免地會

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1 高N，

本文編號：798141