本文關(guān)鍵詞：從雙層到多層帶有微結(jié)構(gòu)的硅硅直接鍵合技術(shù)研究

  更多相關(guān)文章： 多層鍵合 預(yù)鍵合 正交實驗 鍵合分析軟件 鍵合率

【摘要】：通過理論分析和實驗驗證對多層帶有微結(jié)構(gòu)的硅硅直接鍵合技術(shù)進行了研究.采用的硅片表面活化處理方法是親水濕法,采用的鍵合工藝流程是先將硅片在鍵合機中進行預(yù)鍵合,再使用退火爐進行高溫退火.其中預(yù)鍵合參數(shù)對多層鍵合成功與否起到?jīng)Q定性的作用,為節(jié)約實驗時間,針對3個主要預(yù)鍵合參數(shù)(溫度、壓力、時間)的選取進行了詳細的正交實驗分析.使用項目組自制的硅硅鍵合分析軟件對鍵合片的紅外圖像進行處理分析,計算鍵合率.采用實驗得到的最佳預(yù)鍵合工藝參數(shù),多層鍵合的鍵合率達到了86.652 7%.
【作者單位】： 北京航空航天大學(xué)能源與動力工程學(xué)院航空發(fā)動機氣動熱力國家級重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 多層鍵合 預(yù)鍵合 正交實驗 鍵合分析軟件 鍵合率
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51506002)
【分類號】：V242;TH-39
【正文快照】： 微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是在微電子技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的,它融合了微電子技術(shù)和精密機械加工等多種微加工技術(shù),并應(yīng)用了多種現(xiàn)代信息技術(shù).目前,該系統(tǒng)已經(jīng)廣泛應(yīng)用于航空航天、生物、化學(xué)、醫(yī)藥等各領(lǐng)域,而微型飛行器是其重要的應(yīng)用領(lǐng)域之一.20世紀90年代初,微型飛行器的概念

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本文編號：571005