本文關(guān)鍵詞：粗糙表面的黏著試驗(yàn)研究

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【摘要】：在微機(jī)械電子系統(tǒng)中,表面粗糙峰的幾何特征、尺寸以及形狀等對(duì)表面黏著以及摩擦特性有重要作用.為了研究粗糙度對(duì)黏著力的影響,首先用KOH溶液腐蝕硅片,得到8個(gè)粗糙度不同的樣品.使用原子力顯微鏡(AFM)來測(cè)量樣品的黏著力.分別使用兩種探針來模擬不同的接觸幾何,第一種探針針尖為一個(gè)2μm左右的平臺(tái),另一種探針為尖探針.試驗(yàn)分別在干燥的手套箱內(nèi)以及在空氣中進(jìn)行.在樣品表面隨機(jī)選取15個(gè)測(cè)量點(diǎn),每個(gè)點(diǎn)測(cè)量50次,然后根據(jù)計(jì)算值,確定平面的平均黏著力以及標(biāo)準(zhǔn)差.并與Robinovich模型的計(jì)算結(jié)果作比較.結(jié)果顯示:當(dāng)粗糙度較小的時(shí)候,隨著粗糙度增大,黏著力下降很快,這與Robinovich模型變化趨勢(shì)較吻合;當(dāng)粗糙度較大時(shí),隨著粗糙度增大黏著力略有增加,但不是很明顯,與Robinovich模型相差較大.
【作者單位】： 華南理工大學(xué)機(jī)械與汽車工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 粗糙表面 原子力顯微鏡 黏著力 試驗(yàn)
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51175182)資助~~
【分類號(hào)】：TH117.1
【正文快照】： 隨著微機(jī)械電子技術(shù)的發(fā)展,越來越多的微納米元器件和設(shè)備被廣泛的使用.在宏觀下,物體主要受到的是慣性力的作用;而在微納米尺度下,由于較大的表面積與體積比,更多的是受到表面效應(yīng).因此,在微納元器件的設(shè)計(jì)中要考慮表面效應(yīng)的影響,提高元器件的強(qiáng)度以及減小表面力.其中,黏著

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本文編號(hào)：531388