本文關(guān)鍵詞：緩沖結(jié)構(gòu)對靜電驅(qū)動微橋動力學(xué)特性的影響，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：可動部件是微機電系統(tǒng)(MEMS)工作的關(guān)鍵,微橋作為主要的可動部件,其動力學(xué)特性引起了研究人員的廣泛關(guān)注.即使是設(shè)計精準(zhǔn)的微橋結(jié)構(gòu),也會因為殘余應(yīng)力而不可避免地改變初始形態(tài),設(shè)計緩沖結(jié)構(gòu)是減少殘余應(yīng)力影響的重要方法.基于歐拉-伯努利梁理論建立的微橋動力學(xué)模型,采用多尺度方法進(jìn)行攝動分析,探討初始形態(tài)、基板與極板間隙、直流偏置電壓和交流激勵電壓幅值對系統(tǒng)共振頻率和幅頻響應(yīng)的影響規(guī)律.結(jié)果表明:初始撓形、直流偏置電壓和交流激勵電壓都具有軟化效應(yīng),使共振頻率漂移到較小的數(shù)值范圍,且隨著拱高增加或基板與極板間隙減小,軟化效應(yīng)增強,隨著微拱曲率增大,軟化效應(yīng)減弱;緩沖結(jié)構(gòu)可以削弱軟化效應(yīng),緩沖結(jié)構(gòu)的褶皺數(shù)量在2個以上時削弱效果變化不大,雙側(cè)翹曲緩沖結(jié)構(gòu)削弱軟化效應(yīng)的能力強于單側(cè)翹曲緩沖結(jié)構(gòu).
【作者單位】： 天津大學(xué)機械工程學(xué)院天津市非線性動力學(xué)與混沌控制重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： 微橋 初始形態(tài) 緩沖結(jié)構(gòu) 多尺度法
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(11372210,11102127) 高等學(xué)校博士學(xué)科點專項科研基金資助項目(20120032110010)
【分類號】：TH-39
【正文快照】：

【參考文獻(xiàn)】

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1 朱長純,趙紅坡,韓建強,崔萬照;MEMS薄膜中的殘余應(yīng)力問題[J];微納電子技術(shù);2003年10期

2 錢勁,劉o，

本文編號：437376