發(fā)布時間：2017-06-08 09:07

  本文關鍵詞：MEMS微發(fā)火器件研究現(xiàn)狀，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：首先分析了國內(nèi)外關于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)微發(fā)火器件的研究報道;接著從與MEMS微加工工藝兼容性、發(fā)火輸出、安全性等角度對比了裝藥型微發(fā)火器件、爆炸箔基微發(fā)火器件、多孔硅基微發(fā)火器件、含能金屬薄膜基微發(fā)火器件和半導體橋基微發(fā)火器件的特點、研究現(xiàn)狀和前沿方向,發(fā)現(xiàn)含能金屬基和半導體橋基微發(fā)火器件兩者前景最好,其中含能金屬基微發(fā)火器件因具有發(fā)火輸出大、與MEMS工藝兼容性好的優(yōu)點受到廣泛關注,而半導體橋基微發(fā)火器件因換能傳熱效率高、微加工兼容性高受到認可;最后指出改善微發(fā)火器件換能傳熱效率、降低器件無用能量散失和提高發(fā)火器件所加載的含能材料能量密度是微發(fā)火器件研究的主要方面。
【作者單位】： 中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中北大學化工與環(huán)境學院;晉西工業(yè)集團;
【關鍵詞】： 微電子機械系統(tǒng)(MEMS) 微發(fā)火器件 爆炸箔 多孔硅 含能金屬 半導體點火橋
【基金】：國家自然科學基金(青年項目)資助項目(51505435) 中國博士后基金資助項目(2014M551061)
【分類號】：TH-39;TQ560
【正文快照】： reactive metal;semiconductor bridge0引言發(fā)火器件是接受外界信號或刺激即可爆燃或爆炸以實現(xiàn)點火、起爆和做功的器件,是火工品的核心品類以及空天發(fā)射系統(tǒng)和爆破裝置最首要、最關鍵的一環(huán),廣泛應用于空天發(fā)射、爆破工程和汽車安全氣囊等領域。隨著現(xiàn)代信息技術和微納技術在

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本文編號：432015