本文關(guān)鍵詞：大角度微鏡的評(píng)估與分析，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：MOEMS (Micro-Opto-Electro-Mechanical-Systems)微光機(jī)電系統(tǒng)是一個(gè)具有高效率、高表現(xiàn)以及低成本等特點(diǎn)的,非常具有吸引力的對(duì)于一般的光學(xué)問(wèn)題的解決方案。 Hochschule Furtwangen University已經(jīng)開(kāi)發(fā)了基于SOI (Silicon-On-Insulator)硅片技術(shù)的一個(gè)用于激光反射的一個(gè)微鏡系統(tǒng)。對(duì)于這個(gè)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)的微鏡系統(tǒng)來(lái)說(shuō),其基本的技術(shù)參數(shù)為,當(dāng)驅(qū)動(dòng)電壓為200V時(shí),微鏡鏡面的旋轉(zhuǎn)角度為±1.9mrad,約為±0.120。 本論文的目標(biāo)為,選擇合理的驅(qū)動(dòng)方式使微鏡鏡面能夠有一個(gè)較大的為200轉(zhuǎn)動(dòng)角度。微鏡系統(tǒng)的常用的主要的驅(qū)動(dòng)方式為：磁力驅(qū)動(dòng)、電熱驅(qū)動(dòng)、靜電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)、壓電驅(qū)動(dòng)和磁致伸縮驅(qū)動(dòng)。在研究中,對(duì)于這些驅(qū)動(dòng)的方式的各個(gè)方面,即各個(gè)驅(qū)動(dòng)方式的優(yōu)缺點(diǎn)都進(jìn)行了一個(gè)詳細(xì)的比較。最終,在各個(gè)方案的比較中選擇靜電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)方式以及磁力驅(qū)動(dòng)方式。針對(duì)于這兩個(gè)微鏡的驅(qū)動(dòng)方式,設(shè)計(jì)了一系列的不同的微鏡驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),并且對(duì)每個(gè)具體的微鏡結(jié)構(gòu)進(jìn)行了詳細(xì)的模擬、計(jì)算分析。然后,對(duì)于論文的要求來(lái)說(shuō)多層結(jié)構(gòu)的磁力驅(qū)動(dòng)方式和梳狀結(jié)構(gòu)的靜電驅(qū)動(dòng)方式最合適的。 論文的進(jìn)一步工作就是對(duì)于一個(gè)測(cè)試樣品的加工流程的完善,設(shè)計(jì)加工流程中的具體參數(shù)。通過(guò)加工獲得一個(gè)微鏡的測(cè)試樣品。
【關(guān)鍵詞】：MOEMS 微鏡 傾轉(zhuǎn)微鏡 SOI技術(shù)
【學(xué)位授予單位】：揚(yáng)州大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2013
【分類號(hào)】：TH-39;TH74
【目錄】：

• 摘要3-4
• Abstract4-7
• 第1章 緒論7-11
• 1.1 MEMS和光學(xué)MEMS的介紹7-9
• 1.1.1 微機(jī)電系統(tǒng)Micro-Electro-Mechanical Systems(MEMS)7
• 1.1.2 微制造技術(shù)7-8
• 1.1.3 硅的機(jī)械特性8-9
• 1.1.4 光學(xué)MEMS(MOEMS)9
• 1.2 基于MEMS技術(shù)的光學(xué)微鏡9-10
• 1.3 本章小結(jié)10-11
• 第2章 微鏡的驅(qū)動(dòng)方式11-20
• 2.1 微鏡的靜電驅(qū)動(dòng)方式11-14
• 2.2 微鏡的磁力驅(qū)動(dòng)方式14-15
• 2.3 微鏡的電熱驅(qū)動(dòng)方式15-17
• 2.4 微鏡的壓電驅(qū)動(dòng)方式17-18
• 2.5 微鏡的其他的驅(qū)動(dòng)方式(磁致伸縮驅(qū)動(dòng))18-19
• 2.6 本章小結(jié)19-20
• 第3章 大角度微鏡的計(jì)算與模擬20-45
• 3.1 微鏡的靜電場(chǎng)驅(qū)動(dòng)20-38
• 3.1.1 平板電容器的靜電力以及能量20-22
• 3.1.2 基于平板執(zhí)行器結(jié)構(gòu)的微鏡結(jié)構(gòu)22-29
• 3.1.2.1 基于平板執(zhí)行器結(jié)構(gòu)的微鏡結(jié)構(gòu)A22-25
• 3.1.2.2 基于平板執(zhí)行器結(jié)構(gòu)的微鏡結(jié)構(gòu)B25-27
• 3.1.2.3 基于平板執(zhí)行器結(jié)構(gòu)的微鏡結(jié)構(gòu)C27-29
• 3.1.3 微鏡的梳狀驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)29-38
• 3.2 微鏡的磁力驅(qū)動(dòng)模式38-41
• 3.3 梳狀結(jié)構(gòu)微鏡、靜電驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)微鏡的工作應(yīng)力和共振頻率41-44
• 3.3.1 工作應(yīng)力41-43
• 3.3.2 扭轉(zhuǎn)共振頻率43-44
• 3.4 本章小結(jié)44-45
• 第4章 微鏡的加工流程45-50
• 4.1 梳狀結(jié)構(gòu)微鏡的加工流程45-46
• 4.2 磁力驅(qū)動(dòng)微鏡的加工流程46-49
• 4.3 本章小結(jié)49-50
• 第5章 工作總結(jié)與展望50-52
• 5.1 工作總結(jié)50
• 5.2 課題展望50-52
• 參考文獻(xiàn)52-57
• 致謝57-58

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 趙全亮;李中翔;何廣平;曹茂盛;王大偉;狄杰建;;鋯鈦酸鉛厚膜驅(qū)動(dòng)高機(jī)械品質(zhì)因數(shù)微懸臂梁的制作與性能(英文)[J];硅酸鹽學(xué)報(bào);2014年01期

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本文編號(hào)：396694