電容式微機械聲學(xué)傳感器(CMUT)具有高帶寬、易集成陣列化、無需匹配層、靈敏度高等優(yōu)點,利用CMUT器件檢測納米梁產(chǎn)生的聲波信號,得到納米梁的振動信息,將CMUT器件置于納米梁下方作為振動信號檢測傳感器。應(yīng)用靜電反饋控制器,以Euler-Bornoulli梁為振動模型,提出基于CMUT傳感的納米梁非線性振動控制方法,建立納米梁非線性振動微分方程,應(yīng)用多尺度方法研究納米梁的非線性振動控制。分析了控制增益等系統(tǒng)參數(shù)與納米梁非線性振動之間的關(guān)系,研究了改變系統(tǒng)參數(shù)來增強系統(tǒng)振動穩(wěn)定性的方法。研究結(jié)果表明,選擇合適的系統(tǒng)參數(shù)可以減弱甚至消除系統(tǒng)振動的非線性并增強系統(tǒng)的穩(wěn)定性。

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【文章目錄】：
1 電容式微機械聲學(xué)傳感器原理
2 基于電容信號傳感的納米梁靜電激勵振動控制模型
3 數(shù)值模擬及分析
4 結(jié)論



本文編號：3767420