分子／增壓泵是最近實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的新型分子泵，它采用國(guó)際首創(chuàng)的專利結(jié)構(gòu)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，運(yùn)行穩(wěn)定，兼容中高真空，具有廣闊的應(yīng)用前景。本文在充分討論分子／增壓泵抽氣原理的基礎(chǔ)上，介紹了它的結(jié)構(gòu)和性能，并對(duì)其主要性能指標(biāo)進(jìn)行了測(cè)試。測(cè)試結(jié)果表明，分子／增壓泵在中高真空具有強(qiáng)勁抽速，并可以獲得清潔真空。鑒于分子／增壓泵已成功應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域并取得顯著效果，本文深入探討和研究了分子／增壓泵在磁控濺射離子鍍膜機(jī)和大型連續(xù)鍍膜生產(chǎn)線中的應(yīng)用，為其在更多真空領(lǐng)域的應(yīng)用奠定了理論和實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。分子／增壓泵是新型泵種，它在每個(gè)真空技術(shù)領(lǐng)域的推廣應(yīng)用都是具有開拓性的。本課題的完成，是其產(chǎn)品化的一小步，卻是其發(fā)展壯大的一大步。 

【文章來(lái)源】：合肥工業(yè)大學(xué)安徽省 211工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】：65 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖2一11分子/增壓泵與渦輪分子泵轉(zhuǎn)子對(duì)比示意圖

火 火 火 火 火 火 火火、 ~~~P(Pa)圖3一5分子蹭壓泵抽速測(cè)試曲線 3.2.2 3.2.2分子/增壓泵極限真空測(cè)試測(cè)試裝置分子/增壓泵極限真空測(cè)試裝置如圖3一6所示，分子/增壓泵型號(hào)為MB20OB。圖3一6分子/增壓泵極限真空測(cè)試測(cè)試罩經(jīng)超高真空清洗后，放入高真空除氣爐中950℃除氣一個(gè)小時(shí)，使材料內(nèi)部H:含量降低2個(gè)數(shù)量級(jí)以上，從而有效地降低測(cè)試系統(tǒng)的本底負(fù)載。測(cè)試罩直接與分子/增壓泵連接，前級(jí)泵采用LEYBOLD公司的 TRIVAC30C直聯(lián)旋片泵，抽速SUs。全壓力低真空測(cè)量采用 LEYBOLDDM12真空計(jì)，配用TTR301熱電阻規(guī)管

2.70x10一5】 6.50x10一5 1.80x10礴】 5.00x10一3(2)殘余氣體質(zhì)譜圖3一7和3一8為烘烤前后系統(tǒng)的殘余氣體棒圖。圖3一7分子/增壓泵烘烤前殘余氣體棒圖圖3一8分子/增壓泵烘烤后殘余氣體棒圖烘烤前總壓強(qiáng)為 3x10一5砒 ar(3x10一，Pa)，其中HZo分壓和eo(NZ)分壓最高，然后依次是02、eoZ、HZ、搶、He，碳?xì)浠衔?exHy)為 5X10一，汕ar(sxlo一7Pa)。烘烤后總壓強(qiáng)為sxlo一7mbar(sxlo一SPa)，其中，HZO分壓最高，接近總壓強(qiáng)

【參考文獻(xiàn)】：
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碩士論文
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本文編號(hào)：3585395