1987年,加州大學(xué)伯克利分校研制成功第一臺靜電微馬達,標志著微機電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems,MEMS）時代的到來。MEMS的出現(xiàn)在旋轉(zhuǎn)機械領(lǐng)域帶來了一場微小型化革命,以加工微/納米旋轉(zhuǎn)機械結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)為目的的技術(shù)應(yīng)運而生,促進了微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)的長足發(fā)展,并逐漸成為MEMS研究的熱點。作為MEMS的動力源,微馬達一直是研究的熱點問題。大功率、高轉(zhuǎn)速馬達的發(fā)展,對轉(zhuǎn)子和軸承間的潤滑技術(shù)提出了更高的要求。氣浮軸承能夠滿足其相應(yīng)的要求,如工作轉(zhuǎn)速高、運行阻力低、運行時幾乎沒有磨損等。因此氣浮軸承在微型高速轉(zhuǎn)子的支撐系統(tǒng)中具有獨特優(yōu)勢。國際上,諸多著名院所正致力與該領(lǐng)域的理論研究與實用探索。當(dāng)前微旋轉(zhuǎn)機械的研究主要集中在微轉(zhuǎn)子系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的加工工藝與制造、靜態(tài)特性分析和測量方法等方面。而針對微轉(zhuǎn)子-軸承系統(tǒng)的動力學(xué)特性,尤其是振動特性、摩擦磨損特性、動力潤滑特性、動態(tài)測試和控制技術(shù)及可靠性等方面的研究還很少或尚未涉及。與常規(guī)宏觀機械理論研究不同,MEMS系統(tǒng)具有突出的微尺度效應(yīng)。它的問世和發(fā)展對轉(zhuǎn)子-軸承的動力學(xué)提出新的挑戰(zhàn),加強對微轉(zhuǎn)子-軸承動力學(xué)的理論和... 

【文章來源】：上海交通大學(xué)上海市 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

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【學(xué)位級別】：博士

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第一個半導(dǎo)體晶體管

－3－圖1-1 第一個半導(dǎo)體晶體管 圖1-2 第一個集成電路Fig.1-1 The first semiconductor transistor Fig1-2 The first ntegrate circuit1962年硅微壓力傳感器問世，其主要部件是硅膜和壓敏電阻，采用體硅腐蝕工藝加工制作。1982年，美國加州大學(xué)伯克利分校的Howe和Muller制作了第一個微梁[9]。1989年，F(xiàn)an，Tai和Muller研制出微彈簧[10]。1987年10月9日，IEEE的機器人和自動化委員會組織有關(guān)微系統(tǒng)的討論會，相關(guān)學(xué)者展出了許多微型器件，包括微齒輪、馬達、諧振子[11]和小型機器人。從1987年到1988年，來自MIT、Berkeley、Stanford、AT&T和NSF的15名科學(xué)家聯(lián)名在國家計劃建議書中提出“小機器

其車身根據(jù)半導(dǎo)體工藝的精密加工技術(shù)制作而成，由電動馬達驅(qū)動。圖1-3 第一臺靜電微馬達 圖1-4 微靜電馬達與頭發(fā)絲的對比Fig.1-3 The first micro motor Fig.1-4 The micro motor and the hair圖1-5 Sandia制造的MARV 圖1-6 Sandia制造的微型機器人Fig.1-5 MARV of Sandia Fig.1-6 The micro robot of Sandia圖1-7 日本Denso Corporation制作的世界上最小的微型小轎車Fig.1-7 The smallest micro car of Denso Corporation1988年起德國開始為期十年的微型機械制造技術(shù)的研究項目，研究各種刻蝕技術(shù)，并于1989年出版了第一本討論微系統(tǒng)技術(shù)的著作《Micro-mechanic》。20世紀90年代后期，歐洲聯(lián)絡(luò)300多個相關(guān)機構(gòu)，組成NEXUS(Network of Excellence inMultifunctional Microsystems)。在微細加工方面，德國首創(chuàng)同步輻射光刻電鑄技術(shù)，即LIGA(德語Lithographie GalvanoformungAbformung)工藝，它是X光深度光刻、微電鑄和微塑鑄三種工藝的有機結(jié)合，可實現(xiàn)高深寬比的微結(jié)構(gòu)制作。例如LIGA工

【參考文獻】：
期刊論文
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[4]對發(fā)展我國超聲電機技術(shù)的若干建議[J]. 趙淳生.  微電機(伺服技術(shù)). 2006(02)
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[7]基于微型渦輪發(fā)動機實現(xiàn)超高能量密度Power MEMS的研究[J]. 張力,徐宗俊,余成龍.  中國機械工程. 2003(15)
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本文編號：3104377