針對微電子封裝中非透明模板的對準(zhǔn)問題,對光路設(shè)計和準(zhǔn)算法進(jìn)行了研究,提出了一種雙向機(jī)器視覺對準(zhǔn)系統(tǒng)。通過架設(shè)一塊與待對準(zhǔn)模板平行的透明標(biāo)定板來延伸模板尺寸,并將上、下兩塊模板分別置于不同的工位進(jìn)行了攝影,從而克服了相機(jī)在狹窄空間無法安裝,以及金屬模板無法透視的問題,實現(xiàn)了間接對準(zhǔn),并開發(fā)了自動對準(zhǔn)系統(tǒng);系統(tǒng)以機(jī)器視覺為基礎(chǔ),通過雙向視覺系統(tǒng)獲取圖像,分別采用圖像匹配算法與Canny算子,對模板邊緣圖形進(jìn)行了初提取與亞像素級二次提取,進(jìn)而通過坐標(biāo)轉(zhuǎn)換,間接計算出了模板副的平面位置偏差,并用于驅(qū)動XYR工作臺進(jìn)行了對準(zhǔn)控制。實驗結(jié)果表明:該系統(tǒng)可以在實際操作環(huán)境中實現(xiàn)非透明模板副的高精度自動對準(zhǔn)功能。
【部分圖文】：

光路設(shè)計

對準(zhǔn)系統(tǒng)設(shè)計

計算示意圖如圖3所示。由圖3可知:圖像坐標(biāo)系以左上角為原點(diǎn),工作臺坐標(biāo)系以凹槽中心為原點(diǎn)。然后根據(jù)標(biāo)定板坐標(biāo)系和圖像坐標(biāo)系的角度關(guān)系,可以獲得標(biāo)定板與工作臺的角度關(guān)系,即:
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