本文關(guān)鍵詞：面向PVA薄膜模具制造的滾型納米壓印光刻機(jī)的研究與開發(fā)　出處：《青島理工大學(xué)》2014年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

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【摘要】：為實(shí)現(xiàn)水溶性PVA薄膜型模具高效、低成本規(guī)�；a(chǎn)，本文提出一種滾型納米壓印工藝，并基于該工藝開展了PVA薄膜模具滾型納米壓印光刻機(jī)研究與開發(fā)。主要完成了滾型納米壓印光刻機(jī)的總體設(shè)計(jì)，其中重點(diǎn)介紹了干燥模塊和壓印模塊。 其次針對滾型納米壓印過程中軟模具變形問題，提出接觸理論模型，揭示滾輪型模具變形機(jī)制和主要影響因素，闡述了硬質(zhì)接觸和柔性接觸兩種壓印方式顯著區(qū)別和特點(diǎn)，并且通過數(shù)值模擬，檢驗(yàn)和評判所建立理論模型的正確性和準(zhǔn)確性，進(jìn)一步揭示軟模具變形機(jī)制和主要影響要素。 狹縫涂布作為整個(gè)生產(chǎn)PVA薄膜模具過程的開始工序，其涂布層厚度的一致性對于后續(xù)成功轉(zhuǎn)移模具上微特征圖形到涂布層上有著至關(guān)重要的作用，因此對涂布層進(jìn)行了納維-斯托克斯方程理論分析，提出了上游和下游的流速、流量公式，解釋了涂布層的流動(dòng)機(jī)理，并且通過CFD商業(yè)軟件FLUENT進(jìn)行模擬得出基底速度過高，容易卷入空氣造成涂布失敗的結(jié)論。 最后由于在PET薄膜上進(jìn)行的是微納米級壓印，高精度轉(zhuǎn)移微特征圖案對薄膜張力有著嚴(yán)格要求，控制薄膜傳輸過程中張力恒定是本文的研究重點(diǎn)，避免薄膜上的張力波動(dòng)造成薄膜上的壓印圖形的不準(zhǔn)確。在本文中，經(jīng)過對PET薄膜張力控制的研究，對PET薄膜張力進(jìn)行分段控制，建立對PET薄膜卷繞裝置的張力控制數(shù)學(xué)模型，，并選取相應(yīng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，最后通過MATLAB/SIMULINK進(jìn)行張力仿真。
【學(xué)位授予單位】：青島理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2014
【分類號】：TB43;TH122;TG76

【參考文獻(xiàn)】

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