發(fā)布時間：2017-10-27 15:26

  本文關(guān)鍵詞：子孔徑拼接在超精密平面加工中的應(yīng)用

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【摘要】：在超精密平面加工過程中,面型精度的檢測水平往往限制著精度的進一步提高,常規(guī)機械加工的測量儀器一般通過打點方式測量精度,能檢精度達到μm級,對于面型精度要求更高的工件往往不能滿足要求。引入平面干涉儀的光學(xué)檢測手段,提高能檢精度。對于大尺寸工件,采用子孔徑拼接技術(shù)還原整個面型,節(jié)約成本。檢測結(jié)果指導(dǎo)加工,從而進一步提高工件面型精度。實驗結(jié)果證明子孔徑拼接后面型和實際面型一致,適用于此類加工的檢測。
【作者單位】： 中國科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測 超精密加工 子孔徑拼接 陶瓷導(dǎo)軌
【分類號】：TH16
【正文快照】： 0引言在大尺寸工件的超精密平面加工過程中[1-3],由于檢測手段的局限,加工精度提高有限。機械加工中面型精度的常規(guī)測量儀器有三坐標測量機、檢測環(huán)加千分表和電感測微儀等,一般通過打點方式測量面型精度,效率不高且不能反映出面型的高頻誤差;精度不高,通常為μm級。對于面型，

本文編號：1104109