本文關(guān)鍵詞：基于濃硼擴(kuò)散層的硅納米線諧振子制備

  更多相關(guān)文章： 納機(jī)電系統(tǒng)(NMES) 硅納米線 自上而下法 諧振子

【摘要】：納機(jī)電系統(tǒng)(NMES)由于具有體積小、智能化、可靠性高等優(yōu)點(diǎn)而被廣泛研究。其中納米線諧振子的本征頻率能夠達(dá)到MHz甚至GHz,可應(yīng)用于各種高性能的質(zhì)量傳感器、諧振器、濾波器等。但是,要制備形貌規(guī)則可控的納米線諧振子,對(duì)加工技術(shù)要求很高。目前急需一種工藝簡(jiǎn)單、重復(fù)性好、三維尺度可控的硅納米線制備方法。本文重點(diǎn)研究了基于濃硼擴(kuò)散層的可集成硅納米線諧振子的制備方法。該方法采用電子束光刻定義可控尺度硅納米線,并利用TMAH腐蝕自停止效應(yīng)實(shí)現(xiàn)諧振子的釋放。文中還采用SEM對(duì)所制備的納米線諧振子進(jìn)行了表征。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,基于濃硼擴(kuò)散層制備的硅納米線諧振子形貌規(guī)則,結(jié)構(gòu)可控可調(diào)。該方法能夠?qū)崿F(xiàn)可控制的大面積、高產(chǎn)率、低成本、可集成的硅納米線諧振子制備。
【作者單位】： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所集成技術(shù)工程研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 納機(jī)電系統(tǒng)(NMES) 硅納米線 自上而下法 諧振子
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61474115、61404128、61372059、61274066) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃項(xiàng)目(863項(xiàng)目,2014AA032302)資助
【分類號(hào)】：TH-39
【正文快照】： 納機(jī)電系統(tǒng)(NMES)是微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)向小型化、高集成、低功耗方向進(jìn)一步發(fā)展而拓展出的研究領(lǐng)域。納米尺度的諧振器是NEMS的重要組成部分,特別是納米線諧振子是多種NEMS諧振器的核心結(jié)構(gòu)。在納米尺寸下器件表現(xiàn)出強(qiáng)烈的尺度效應(yīng),具有超高頻率,能夠達(dá)到MHz甚至GHz。例如,加州

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 李永軍,劉春艷;一維無機(jī)納米材料的研究進(jìn)展[J];感光科學(xué)與光化學(xué);2003年06期

2 李國正;Si的化學(xué)自停止腐蝕方法的研究[J];微電子學(xué);1995年04期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉楊;張明亮;季安;王曉東;楊富華;;基于濃硼擴(kuò)散層的硅納米線諧振子制備[J];影像科學(xué)與光化學(xué);2016年03期

2 王洪超;車美美;楚振明;付巖;崔春陽;金立國;;TiO_2納米棒多孔光陽極復(fù)合薄膜的制備和表征[J];化學(xué)與黏合;2015年02期

3 殷曉燕;何彥;;DNA在SiO_2納米粒子薄膜表面的單分子行為研究[J];化學(xué)傳感器;2010年04期

4 李春梅;羅康碧;李滬萍;陳銳;;硫酸鈣微米/納米材料的研究進(jìn)展[J];化工科技;2009年04期

5 楊陽;劉輝;呂軍;趙曉鵬;;雙模板輔助化學(xué)電沉積法制備金屬銀樹枝狀結(jié)構(gòu)陣列[J];功能材料;2008年05期

6 盧義剛;王炳喜;金新穎;;準(zhǔn)一維NiO納米材料的制備研究進(jìn)展[J];兵器材料科學(xué)與工程;2007年03期

7 雷淑華;林健;黃文e，

本文編號(hào)：1048023