本文選題：光學(xué)設(shè)計 + 表面散射模型　； 參考：《長春理工大學(xué)》2012年碩士論文

【摘要】：根據(jù)光的散射理論可知,當(dāng)光照射粗糙表面時會發(fā)生散射現(xiàn)象。本文利用氬離子激光器作為光源,將其發(fā)出的光束通過激光整形系統(tǒng)后變成橢圓光,然后用其照射待檢盤片表面。由于盤片表面疵病的作用而發(fā)生散射現(xiàn)象,通過分析散射光和反射光便可以得到被測盤片表面的特性。 文中從散射角和散射光能量兩個方面,討論了光學(xué)設(shè)計軟件ZEMAX中的四種散射模型,再結(jié)合硬盤盤片表面疵病的粗糙度等級,從中選擇了一種合適的模型來反映盤片表面的散射情況,然后利用光學(xué)設(shè)計軟件ZEMAX設(shè)計了該檢測裝置的光學(xué)系統(tǒng)。從而可以根據(jù)對光電倍增管和光電位置傳感器接收到的光能的分析,實現(xiàn)對盤片表面疵病大小和位置的判斷。
[Abstract]:According to the scattering theory of light, the scattering phenomenon will occur when the light is irradiated on the rough surface. In this paper, an argon ion laser is used as the light source, and the beam is transformed into elliptical light through the laser shaping system, and then the surface of the disk is irradiated with it. The scattering phenomenon occurs due to the effect of the defect on the surface of the disk, and the scattering is analyzed by analyzing the scattering. Light and reflected light can get the characteristics of the surfaces of the tested discs.
In this paper, from two aspects of scattering angle and scattered light energy, four kinds of scattering models in the optical design software ZEMAX are discussed. Then a suitable model is selected to reflect the scattering of the disk surface by combining the roughness of the surface defects of the disk disk. Then the optical design software ZEMAX is used to design the optics of the detection device. Based on the analysis of light energy received by photomultiplier tube and photoelectric position sensor, the defect size and location of disc surface can be judged.

【學(xué)位授予單位】：長春理工大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2012
【分類號】：TP274;TP333.35

【參考文獻】

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本文編號：1893499