本文選題：光學(xué)測厚 + 高精度�。� 參考：《光學(xué)技術(shù)》2014年06期

【摘要】：對薄膜測厚系統(tǒng)進(jìn)行了詳盡剖析,從整體上論述了膜厚測量系統(tǒng),研究了測厚系統(tǒng)中薄膜測厚儀的關(guān)鍵硬件電路,對薄膜測厚儀的軟件流程進(jìn)行了離散設(shè)計(jì)。以AVR單片機(jī)為核心處理器進(jìn)行了數(shù)據(jù)采集和處理,設(shè)計(jì)并生產(chǎn)出了在線式光學(xué)薄膜厚度測量與監(jiān)控系統(tǒng)。通過與實(shí)際膜厚進(jìn)行對比實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了薄膜測厚系統(tǒng)具有高精度、高穩(wěn)定性和高可靠性,可應(yīng)用于實(shí)際工業(yè)生產(chǎn)。
[Abstract]:The thin film thickness measurement system is analyzed in detail. The film thickness measurement system is discussed. The key hardware circuit of the film thickness measurement system is studied. The software flow chart of the film thickness gauge is discrete designed. The data acquisition and processing based on AVR single chip computer are carried out, and the on-line optical thin film thickness measurement and monitoring system is designed and produced. It is proved that the film thickness measurement system has high accuracy, high stability and high reliability, and can be used in industrial production by comparing with the actual film thickness.
【作者單位】： 寧夏師范學(xué)院物理與信息技術(shù)學(xué)院;
【分類號】：TP368.1;TP274

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前5條

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【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

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相關(guān)博士學(xué)位論文 前10條

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相關(guān)碩士學(xué)位論文 前10條

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【二級參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前7條

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2 王懿U，

本文編號：1819041