質(zhì)子與金屬布線層核反應(yīng)對(duì)微納級(jí)靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器單粒子效應(yīng)的影響分析
本文關(guān)鍵詞: 質(zhì)子 核反應(yīng) 微納級(jí)靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器 單粒子效應(yīng) 出處:《物理學(xué)報(bào)》2015年17期 論文類型:期刊論文
【摘要】:金屬布線層對(duì)微納級(jí)靜態(tài)隨機(jī)存儲(chǔ)器(static random access memory,SRAM)質(zhì)子單粒子效應(yīng)敏感性的影響值得關(guān)注.利用Geant4針對(duì)不同能量(30 MeV,100 MeV,200 MeV和500 MeV)的質(zhì)子與微納級(jí)SRAM器件的核反應(yīng)過程開展計(jì)算,研究了核反應(yīng)次級(jí)粒子的種類、線性能量傳輸值(linear energy transfer,LET)及射程情況,尤其對(duì)高LET值的核反應(yīng)次級(jí)粒子及其射程開展了詳細(xì)分析.研究表明,金屬布線層的存在和質(zhì)子能量的增大為原子序數(shù)大于或等于30的重核次級(jí)粒子的產(chǎn)生創(chuàng)造了條件,器件體硅區(qū)中原子序數(shù)大于60的重核離子來源于質(zhì)子與鎢材料的核反應(yīng),核反應(yīng)過程中的特殊作用機(jī)理會(huì)生成原子序數(shù)在30至50之間的次級(jí)粒子,且質(zhì)子能量的增大有助于這種作用機(jī)理的發(fā)生,原子序數(shù)在30至50之間的次級(jí)粒子在器件體硅區(qū)的LET值最大約為37 MeV·cm~2/mg,相應(yīng)射程可達(dá)到幾微米,對(duì)于阱深在微米量級(jí)的微納級(jí)SRAM器件而言,有引發(fā)單粒子閂鎖的可能.研究結(jié)果為空間輻射環(huán)境中宇航器件的質(zhì)子單粒子效應(yīng)研究提供理論支撐.
[Abstract]:The metal wiring layer is static random access memory for micro and nano level static random access memory. The effect of SRAM on the sensitivity of single particle effect of proton is worthy of attention. Geant4 is used to target 30 MeV ~ (10) MeV of different energy. The nuclear reaction processes of protons and nanoscale SRAM devices with 200 MeV and 500MeV) were calculated and the types of secondary particles in the reaction were studied. Linear energy transfer and range. In particular, a detailed analysis of the secondary particles of nuclear reaction with high LET value and their range is carried out. The existence of metal wiring layer and the increase of proton energy create conditions for the generation of heavy nuclear secondary particles whose atomic number is greater than or equal to 30. The heavy nuclear ions with atomic number greater than 60 in bulk silicon region come from the nuclear reaction between proton and tungsten material. The special mechanism of nuclear reaction will produce secondary particles with atomic number between 30 and 50. The increase of proton energy contributes to this mechanism. The maximum LET value of secondary particles with atomic number between 30 and 50 is about 37 MeV 路cm~2/mg in the silicon region of the device. The corresponding range can reach several microns, for micro-nano SRAM devices with well depth in the order of micron. It is possible to trigger single particle latch. The results provide theoretical support for the study of proton single particle effect in space radiation environment.
【作者單位】: 強(qiáng)脈沖輻射環(huán)境模擬與效應(yīng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 西北核技術(shù)研究所;
【基金】:國家自然科學(xué)基金青年科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):11175271) 國家科技重大專項(xiàng)(批準(zhǔn)號(hào):2014ZX01022-301)資助的課題~~
【分類號(hào)】:TP333
【正文快照】: 1引言宇宙空間中存在大量高能質(zhì)子,高能質(zhì)子穿透航天器屏蔽層進(jìn)入到內(nèi)部電子學(xué)系統(tǒng),與系統(tǒng)中的半導(dǎo)體器件發(fā)生相互作用產(chǎn)生單粒子效應(yīng),影響航天器的在軌可靠運(yùn)行[1-13].質(zhì)子與半導(dǎo)體器件發(fā)生核反應(yīng)生成的次級(jí)粒子的電離作用是引起質(zhì)子單粒子效應(yīng)的主要因素[7-13],雖然核反應(yīng)截
【參考文獻(xiàn)】
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【共引文獻(xiàn)】
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