雙陰極等離子沉積TiN涂層的工藝及性能研究
本文關鍵詞:雙陰極等離子沉積TiN涂層的工藝及性能研究
更多相關文章: 雙陰極等離子滲金屬技術 Ti N 微觀結(jié)構 耐磨性 耐蝕性
【摘要】:鈦合金是航空航天、船舶、醫(yī)藥等領域十分青睞的合金材料,但它也存在耐磨損性能差、高溫抗氧化性不足、易被還原性酸腐蝕等缺點。利用適當?shù)南冗M表面工程方法可以有效地改善鈦合金的表面性能,因此表面改性技術成為了提高鈦合金的摩擦磨損性能和抗氧化性能最經(jīng)濟、最靈活的手段。表面工程技術在國內(nèi)外學者的潛心研究下取得了快速的發(fā)展,制備硬質(zhì)涂層的相關工藝技術不斷豐富和成熟。通過表面改性方法在基體表面沉積硬質(zhì)涂層,可以在保證不改變基體尺寸和形狀的同時,優(yōu)化基體材料的表面性能。TiN涂層硬度高、耐磨性好、生物相容性和導電性良好,是機械工具、航空航天設備、電子產(chǎn)品、醫(yī)療器械中很受歡迎的涂層材料。因此,通過在普通金屬表面制備TiN硬質(zhì)涂層來改善其表面性能引起了國內(nèi)外學者的高度關注。本文選用雙陰極等離子滲金屬這一表面改性技術來改善鈦合金的相關表面性能,首先在在TC4合金表面進行等離子滲Ti,形成鈦的固溶體過渡層,然后通入氮氣在TC4表面形成TiN反應沉積層,并研究了涂層的微觀組織結(jié)構、耐蝕性能、力學性能和磨損性能。通過掃描電鏡、透射電鏡、X射線能量色散譜和X射線衍射儀來表征涂層的微觀組織結(jié)構,檢測結(jié)果顯示:所制備Ti N涂層表面光滑平整,成分均勻無雜質(zhì)。在3.5%wt.NaCl溶液中對所制備的納米晶TiN涂層和TC4基體進行開路電位、動電位極化、電化學阻抗譜測試,評估涂層的耐蝕性能,實驗結(jié)果表明:TiN涂層相比于鈦合金基體,具有很好的耐腐蝕性能;采用劃痕法和納米壓入技術對涂層的力學行為進行測定,測試結(jié)果表明:納米晶TiN涂層與基體結(jié)合良好,其硬度和彈性模量的比值相比于鈦合金基體明顯提高,表明基體的韌性得到了很好的改善;為了評估涂層的耐磨性,在室溫及500℃高溫條件下對涂層進行了摩擦磨損試驗,實驗結(jié)果表明:在相同實驗條件下,TiN涂層的比磨損率明顯低于TC4基體的比磨損率,TiN涂層的耐磨性明顯優(yōu)于TC4合金。
【關鍵詞】:雙陰極等離子滲金屬技術 Ti N 微觀結(jié)構 耐磨性 耐蝕性
【學位授予單位】:武漢工程大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2016
【分類號】:TG174.4
【目錄】:
- 摘要5-6
- Abstract6-9
- 第1章 緒論9-19
- 1.1 研究背景9-10
- 1.2 雙陰極等離子滲金屬技術10-12
- 1.2.1 雙陰極等離子滲金屬的基本原理10-11
- 1.2.2 雙陰極等離子滲金屬的特點11
- 1.2.3 雙陰極等離子滲金屬技術的研究進展與應用11-12
- 1.3 氮化鈦陶瓷材料的研究與進展12-15
- 1.3.1 氮化鈦的結(jié)構與性能12-14
- 1.3.2 氮化鈦涂層的應用14
- 1.3.3 氮化鈦陶瓷涂層研究新進展14-15
- 1.4 課題的提出15-19
- 1.4.1 課題提出的依據(jù)15-16
- 1.4.2 課題的主要研究內(nèi)容16-19
- 第2章 實驗材料與實驗方案19-27
- 2.1 實驗材料19
- 2.2 實驗設備及涂層制備工藝19-21
- 2.3 分析方法及手段21-27
- 2.3.1 微觀組織和相組成分析21
- 2.3.2 腐蝕性能測試21-22
- 2.3.3 X射線光電子能譜(XPS)測試22-23
- 2.3.4 涂層與基體結(jié)合力測定23-24
- 2.3.5 硬度和彈性模量測試24-25
- 2.3.6 磨損性能測試25-27
- 第3章 TiN涂層的物相及微觀組織分析27-37
- 3.1 涂層的表面形貌27-29
- 3.2 涂層的XRD分析29-31
- 3.3 涂層的橫截面SEM分析31-33
- 3.4 涂層的TEM分析33-34
- 3.5 本章小結(jié)34-37
- 第4章 TiN涂層的腐蝕性能研究37-47
- 4.1 TiN涂層的腐蝕性能研究37-47
- 4.1.1 開路電位(OCP)—時間測試37-38
- 4.1.2 動電位極化曲線測試38-40
- 4.1.3 電化學阻抗譜(EIS) 分析40-43
- 4.1.4 腐蝕形貌觀察43-44
- 4.1.5 鈍化膜成分XPS分析44-47
- 第5章 涂層的力學性能及磨損性能分析47-61
- 5.1 涂層與基體間的結(jié)合力分析47-49
- 5.2 TiN涂層的韌性分析49-51
- 5.3 TiN涂層的磨損性能分析51-58
- 5.3.1 涂層的摩擦系數(shù)曲線51-52
- 5.3.2 涂層磨痕的SEM形貌圖52-57
- 5.3.3 TiN涂層的比磨損率57-58
- 5.3.4 TiN涂層的磨損機理分析58
- 5.4 本章小結(jié)58-61
- 第6章 結(jié)論61-63
- 參考文獻63-71
- 致謝71
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