該文采用化學溶液沉積法——高分子輔助沉積(PAD)法在多晶鎳基片上成功制備了鈦酸鋇(BaTiO3)薄膜,并研究了前驅(qū)體溶液化學計量比對BaTiO3/Ni集成結(jié)構(gòu)漏電特性和介電性能的影響。實驗表明,鈦過量的薄膜樣品可能出現(xiàn)二氧化鈦相,適宜濃度的鈦過量可以降低BaTiO3/Ni集成結(jié)構(gòu)1個數(shù)量級的漏電流密度,減少介電損耗約50%,并能有效提高集成結(jié)構(gòu)的介電常數(shù)。對BaTiO3薄膜的漏電流導電機制進行了分析,并對鈦過量影響集成結(jié)構(gòu)的漏電特性和介電性能的原因進行了討論。

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1實驗方法
2實驗結(jié)果及討論
    2.1樣品的成分表征
    2.2漏電性能分析
    2.3介電性能分析
3結(jié)束語



本文編號：3993468