該文采用化學(xué)溶液沉積法——高分子輔助沉積(PAD)法在多晶鎳基片上成功制備了鈦酸鋇(BaTiO3)薄膜,并研究了前驅(qū)體溶液化學(xué)計(jì)量比對(duì)BaTiO3/Ni集成結(jié)構(gòu)漏電特性和介電性能的影響。實(shí)驗(yàn)表明,鈦過(guò)量的薄膜樣品可能出現(xiàn)二氧化鈦相,適宜濃度的鈦過(guò)量可以降低BaTiO3/Ni集成結(jié)構(gòu)1個(gè)數(shù)量級(jí)的漏電流密度,減少介電損耗約50%,并能有效提高集成結(jié)構(gòu)的介電常數(shù)。對(duì)BaTiO3薄膜的漏電流導(dǎo)電機(jī)制進(jìn)行了分析,并對(duì)鈦過(guò)量影響集成結(jié)構(gòu)的漏電特性和介電性能的原因進(jìn)行了討論。

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【文章目錄】：
1實(shí)驗(yàn)方法
2實(shí)驗(yàn)結(jié)果及討論
    2.1樣品的成分表征
    2.2漏電性能分析
    2.3介電性能分析
3結(jié)束語(yǔ)



本文編號(hào)：3993468