為了闡明調(diào)制周期對(duì)薄膜微觀組織及薄膜與基體結(jié)合力的影響,采用反應(yīng)磁控濺射在Ti6Al4V基板上交替沉積了Ti層及TiN層制備了TiN/Ti多層膜。利用X射線衍射儀（XRD）、掃描電子顯微鏡（SEM）、顯微硬度儀和劃痕儀測(cè)量分析了薄膜的晶體結(jié)構(gòu)、微觀組織、硬度以及薄膜與基體之間的結(jié)合力。研究結(jié)果表明:TiN/Ti多層膜中均存在TiN,Ti和Ti2N 3種相。TiN/Ti多層膜均以柱狀晶方式生長(zhǎng),在調(diào)制周期較大（5層）時(shí),TiN和Ti層的界面清晰;隨著調(diào)制周期的減�。▽訑�(shù)增加）,TiN和Ti層的界面逐漸消失。與單層TiN薄膜相比,多層TiN/Ti薄膜的硬度顯著提高;但隨著薄膜層數(shù)的增加,多層TiN/Ti薄膜硬度略微降低。當(dāng)調(diào)制周期為80nm（30層）時(shí),薄膜與基體的結(jié)合力明顯提高,達(dá)到73N。 

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【文章目錄】：
0引言
1材料與方法
2結(jié)果與分析
    2.1調(diào)制周期對(duì)TiN/Ti多層膜晶體結(jié)構(gòu)的影響
    2.2調(diào)制周期對(duì)TiN/Ti多層膜微觀組織的影響
    2.3調(diào)制周期對(duì)TiN/Ti多層膜力學(xué)性能的影響
3結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]TiN/Ti多層膜調(diào)制比對(duì)摩擦磨損行為影響的研究[J]. 龔海飛,邵天敏,張晨輝,徐軍.  無(wú)機(jī)材料學(xué)報(bào). 2008(04)



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