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SmCo永磁磁場(chǎng)對(duì)SEM成像影響及其微觀分析研究

發(fā)布時(shí)間:2021-10-17 02:12
  自2:17型SmCo合金于上世紀(jì)七十年代被大量開發(fā)研究以來(lái),其高的磁學(xué)性能、較輕的重量和較小的體積正順應(yīng)了我國(guó)高速發(fā)展的航空航天領(lǐng)域?qū)τ谄骷⑿突?集成化的要求。同時(shí)由于SmCo永磁具有高居里溫度,高溫度穩(wěn)定性,這些特性使得其高溫環(huán)境下工作的永磁材料及器件的最佳候選者。但是因?yàn)楫?dāng)其在高溫環(huán)境下長(zhǎng)期工作時(shí),表面會(huì)產(chǎn)生氧化層導(dǎo)致磁體以及器件性能下降,導(dǎo)致失效。所以針對(duì)SmCo永磁等磁性材料的微觀失效分析以及分析手段研究是十分必要的,同時(shí)未消磁的磁性樣品會(huì)對(duì)掃描電子顯微鏡(SEM)成像結(jié)果產(chǎn)生影響。本文針對(duì)SmCo永磁材料,分析了其長(zhǎng)期高溫有氧環(huán)境下的老化機(jī)理以及其磁場(chǎng)對(duì)SEM分析過(guò)程中的影響,主要工作如下。(1)磁性樣品磁場(chǎng)會(huì)引起的SEM圖像質(zhì)量的顯著降低,主要原因是電子軌跡受到洛倫茲力影響而偏轉(zhuǎn)。本文利用未完全消磁的矩形SmCo永磁樣品作為磁場(chǎng)源,以不同的磁場(chǎng)方向放置樣品進(jìn)行實(shí)驗(yàn),結(jié)合相關(guān)理論以及COMSOL軟件對(duì)磁場(chǎng)方向?qū)EM二次電子成像的影響進(jìn)行了分析,給出了最佳觀測(cè)方向并討論了其原理。(2)研究了一種利用規(guī)則磁體的磁場(chǎng),使得未配備背散射電子探測(cè)器的SEM可以在二次電子模式下獲得類... 

【文章來(lái)源】:電子科技大學(xué)四川省 211工程院校 985工程院校 教育部直屬院校

【文章頁(yè)數(shù)】:71 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【部分圖文】:

SmCo永磁磁場(chǎng)對(duì)SEM成像影響及其微觀分析研究


常見永磁體磁能積與溫度關(guān)系

形貌,磁疇圖像,SEM觀察


電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文究動(dòng)態(tài)磁化過(guò)程的各種微妙細(xì)節(jié),并可以分析局部磁化和疇壁運(yùn)動(dòng)的差異。由于磁體磁疇的周期性局部磁場(chǎng)分布特征會(huì)對(duì)電子產(chǎn)生影響,使得利用 SEM 對(duì)樣品磁疇進(jìn)行觀察也是磁學(xué)研究界研究的熱點(diǎn)之一。W. Szmaja[33]提出了一種數(shù)字圖像處理系統(tǒng)及其在鈷單晶體中用掃描電子顯微鏡(SEM)中的 I 型磁性對(duì)比進(jìn)行磁疇觀察的應(yīng)用。并首次證明了,可以利用 SEM 將圖像進(jìn)行相減處理,從而獲得僅具有I 型磁性對(duì)比度(即沒(méi)有形貌對(duì)比度)的圖像。J. imíová[34]介紹了一種使用膠體技術(shù)和掃描電子顯微鏡(GEL-SEM 方法)的組合方法在不同的磁場(chǎng)環(huán)境中研究CoCr 薄膜材料的磁疇結(jié)構(gòu)的成像。W. Szmaja 等人[35]使用 SEM 在加熱循環(huán)過(guò)程中研究了鈷單晶基面上的磁疇變化行為,發(fā)現(xiàn)磁疇結(jié)構(gòu)和 I 型磁性對(duì)比度的變化是由隨著溫度升高磁晶各向異性能減小而引起的。圖 1-2 為利用 SEM 觀察到的磁疇圖像。

能譜儀,掃描電子顯微鏡,鏡筒,電子光學(xué)系統(tǒng)


11圖 2-1 JSM-6490LV 掃描電子顯微鏡與 EDAX Genesis 2000 能譜儀.1 掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)介紹SEM 的功能系統(tǒng)主要由電子光學(xué)系統(tǒng)、信號(hào)收集系統(tǒng)、顯示系統(tǒng)、真空系統(tǒng)源系統(tǒng)以及計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)組成。本文實(shí)驗(yàn)討論主要與其電子光學(xué)系統(tǒng)和信集系統(tǒng)息息相關(guān),故下文主要對(duì)這兩部分系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與原理進(jìn)行介紹。.1.1 鏡筒結(jié)構(gòu)SEM 的鏡筒作用類似于光學(xué)顯微鏡的鏡筒,主要是對(duì)電子束進(jìn)行發(fā)射、加及收束,從而使其形成穩(wěn)定的探針束斑。本文所用 SEM 的鏡筒的主要結(jié)構(gòu), 2-2 所示。

【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]掃描電鏡中背散射電子成像功能的應(yīng)用[J]. 馮善娥,高偉建.  分析測(cè)試技術(shù)與儀器. 2015(01)
[2]掃描電子顯微鏡飛速發(fā)展的25年[J]. 高德祿.  國(guó)外科學(xué)儀器. 1990(02)
[3]釹鐵硼永磁材料的研究及前景[J]. 吳良宏.  儀表材料. 1988(06)

碩士論文
[1]電子元器件及封裝質(zhì)量控制中若干案例的分析研究[D]. 宋利杰.電子科技大學(xué) 2016
[2]Sm2Co17磁體高溫老化及其防護(hù)薄膜的制備與研究[D]. 晏敏勝.昆明理工大學(xué) 2014
[3]涉及氣體稀薄效應(yīng)的磁頭磁盤空氣軸承動(dòng)力學(xué)特性分析[D]. 王希超.哈爾濱工業(yè)大學(xué) 2013
[4]掃描電子顯微鏡掃描電路及圖像采集電路研制[D]. 涂晶晶.上海師范大學(xué) 2012



本文編號(hào):3440915

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