針對MEMS安全與解除保險裝置解除保險方式單一且不易感知低過載環(huán)境力的技術難點,將微尺度下電熱力與慣性力結合,提出了低g值慣性延時電熱MEMS安全與解除保險裝置。該裝置主要由硅隔斷、齒輪組、平面扭簧以及電熱鎖銷機構組成。分別建立了電熱鎖銷機構以及延時機構的動力學模型,并通過ADAMS軟件與ANSYS軟件對相應模型進行了仿真驗證。結果表明,所設計的鎖銷機構可以在10 V直流電壓的控制下輸出57.2μm的位移,滿足相應的解鎖要求;延時機構可以在10 g環(huán)境力(持續(xù)時間約700 ms)的作用下,實現(xiàn)560 ms的延時輸出。

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圖1MEMSS&A裝置整體結構

圖2電熱鎖銷機構

圖3延時機構運動模型

圖4電熱鎖銷機構穩(wěn)態(tài)溫度分布

本文編號：3888481