【摘要】：整流罩裝調(diào)作為導引頭跟蹤裝置裝調(diào)的關(guān)鍵步驟,其裝調(diào)精度直接影響光學系統(tǒng)的成像質(zhì)量,是保證光學設(shè)計預期目標的前提。現(xiàn)有整流罩裝調(diào)多為基于圓跳動儀的接觸式檢測,因?qū)纫蟮牟粩嗵岣?傳統(tǒng)的檢測方案已經(jīng)無法滿足現(xiàn)階段整流罩定心調(diào)節(jié)的精度要求。本文結(jié)合國內(nèi)外研究現(xiàn)狀,在總結(jié)現(xiàn)有成果的基礎(chǔ)上,提出了基于激光三角法原理的非接觸式檢測方案,可實現(xiàn)對整流罩的高精度、高效率、無損的定心裝調(diào)。本文首先研究了激光三角法的檢測原理,并從理論上推導出了滿足沙姆條件的物像關(guān)系式,通過對比直射式與斜射式兩種結(jié)構(gòu),確定出本系統(tǒng)的入射方式,實現(xiàn)了整流罩偏心量的微米級檢測。之后分析比較了4種定心調(diào)節(jié)方式,確定出本系統(tǒng)選用三點調(diào)節(jié)的方法,并采用差動分厘卡作為調(diào)節(jié)元件對整流罩進行定心調(diào)節(jié)。最后詳細地介紹了本系統(tǒng)的實驗原理,建立并分析了系統(tǒng)的實驗模型,推導了對應(yīng)的調(diào)整量公式。并以此為基礎(chǔ),搭建了實驗驗證平臺,運用數(shù)次迭代反饋調(diào)節(jié)方法,達到了系統(tǒng)要求的調(diào)節(jié)精度。分析系統(tǒng)誤差的產(chǎn)生原因,提出相應(yīng)的解決方案。實驗結(jié)果表明,本系統(tǒng)的精度可達0.9μm,滿足整流罩定心調(diào)節(jié)的精度要求。同時本系統(tǒng)中的檢測和調(diào)節(jié)方法可以很容易的推廣到其他應(yīng)用領(lǐng)域,具有廣闊的應(yīng)用前景。
【圖文】：

導引頭整流罩實物圖

面上主要有兩類激光三角位移傳感器：其一是直射式激光位移傳感器，其二是斜射式激光位移傳感器。其中日本Keyence公司生產(chǎn)的LV、LB系列屬于直射式激光三角位移傳感器、屬于斜射式激光三角位移傳感器，如圖1.2所示。此系列檢測精度高、速度快，直線性好可達FS的0.03%（FS=1mm），分辨率最高可達0.1μm，，采樣速度可達50KHz，檢測范圍在1~40mm，最小光點直徑為Φ20μm。Keyence公司特有的直線性光電耦合器件CCD作為LK-G系列激光位移傳感器的接收元件，其檢測精度高于傳統(tǒng)型號2倍，檢測速度快于傳統(tǒng)型號25倍
【學位授予單位】：長春理工大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TN249;TJ765.331

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本文編號：2710039