電弧離子鍍CrN_x薄膜的組織結(jié)構(gòu)與性能研究
發(fā)布時(shí)間：2017-09-28 16:01
本文關(guān)鍵詞：電弧離子鍍CrN_x薄膜的組織結(jié)構(gòu)與性能研究
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【摘要】：采用電弧離子鍍技術(shù)在高速鋼(HSS)基體上制備CrN_x薄膜,考察氮?dú)鈿鈮簩?duì)CrN_x薄膜的表面形貌、結(jié)構(gòu)、顯微硬度及摩擦系數(shù)的影響。用掃描電鏡、X射線衍射儀、顯微硬度計(jì)、摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)等分別測(cè)試分析薄膜的表面形貌、薄膜的結(jié)構(gòu)、顯微硬度以及摩擦系數(shù)。結(jié)果表明,氮?dú)鈿鈮狠^低時(shí)(0.1Pa),薄膜以Cr相為主;隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?0.5~4.0Pa),薄膜中出現(xiàn)了Cr_2N和Cr的混合相,薄膜以Cr_2N相為主;隨著氮?dú)鈿鈮旱纳?薄膜的顯微硬度在氮?dú)鈿鈮簽?.5Pa和4.0Pa時(shí)出現(xiàn)極值,CrN_x薄膜的最大摩擦系數(shù)和平均摩擦系數(shù)都有所減少。
【作者單位】： 沈陽(yáng)理工大學(xué)理學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院金屬研究所專用材料與器件研究部;遼寧省產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)院;
【關(guān)鍵詞】： CrNx薄膜 電弧離子鍍 氮?dú)夥謮?/strong> 顯微硬度 摩擦系數(shù)
【基金】：遼寧省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(2014020091)
【分類號(hào)】：TG174.4
【正文快照】： 在高速鋼鍍上氮化物涂層是提高其壽命的一種方法。與在工業(yè)中廣泛應(yīng)用的Ti N薄膜相比,氮化鉻具有硬度更高、耐腐蝕性更好[1-2]等優(yōu)點(diǎn),且Cr Nx薄膜便于大批量工業(yè)生產(chǎn),更具有實(shí)用價(jià)值,已逐步成為研究高速切削刀具、刃具所關(guān)注的熱點(diǎn)。目前,Cr Nx薄膜制備可以用各種物理氣相沉積
【相似文獻(xiàn)】
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1 于玉城;趙廣彬;晉勇;劉志遠(yuǎn);;CrN_x薄膜的制備及結(jié)構(gòu)分析[J];真空;2007年01期
2 孔慶花;吉利;李紅軒;劉曉紅;陳建敏;周惠娣;;濺射電流對(duì)磁控濺射CrN_x薄膜結(jié)構(gòu)與性能的影響[J];功能材料;2010年12期
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1 陳建云;王謙之;謝杰;孔繼周;周飛;;CrN_x梯度薄膜在人體模擬體液和海水中電化學(xué)及摩擦學(xué)特性的對(duì)比研究[A];第十一屆全國(guó)摩擦學(xué)大會(huì)論文集[C];2013年
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1 李建明;離子鍍CrN_x梯度膜組織結(jié)構(gòu)及性能研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2008年
，本文編號(hào)：936733
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