利用納秒激光提高銅表面吸光率的研究
本文關鍵詞:利用納秒激光提高銅表面吸光率的研究
【摘要】:利用納秒脈沖激光對銅表面進行打黑處理,并使用分光光度計、光學表面輪廓儀、掃描電子顯微鏡(SEM)等對試樣進行反射率、粗糙程度的測量以及微觀結構的觀察。選用單向填充式掃描方式研究了不同掃描間距對打黑效果的影響,發(fā)現(xiàn)在不同掃描間距條件下,打黑后會形成不同的微觀結構(光柵狀、近似光柵狀、珊瑚狀等),且減小掃描間距可以顯著增加吸光率。其中,當掃描間距為10μm時,打黑后的樣品在200~760 nm波段的吸光率可達97%以上,在760~1110 nm波段達到90%以上,而在1110~2500 nm波段也保持在85%以上。此外,研究了二次填充對打黑效果的影響,發(fā)現(xiàn)打黑后樣品的吸光率也較第一次打黑有一定提高,且不同填充方向的二次打黑所造成的吸光率的差異隨著掃描間距的減小而逐漸減小。
【作者單位】: 江蘇大學機械工程學院;中國科學院半導體研究所全固態(tài)光源實驗室;
【關鍵詞】: 激光光學 微納米結構 銅 吸光率 納秒激光
【基金】:國家863計劃(2014AA032607) 江蘇省高校自然科學研究項目(11KJA460003)
【分類號】:TG665
【正文快照】: 1引言利用脈沖激光輻照材料表面產(chǎn)生微納米結構是表面工程領域的研究熱點之一[1-10],這種結構可以改變材料本身的物理、化學性質,如提高光電轉換效率[11]、LED的光提取效率[12]以及表現(xiàn)出偏振散射特性[13]。近年來,有關這種結構還可以提高材料表面吸光率的報道越來越多,如Voro
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,本文編號:862867
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