基于觸針式位移測(cè)量系統(tǒng)表面形貌特征評(píng)定的研究
本文關(guān)鍵詞:基于觸針式位移測(cè)量系統(tǒng)表面形貌特征評(píng)定的研究
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【摘要】:觸針式粗糙度輪廓儀的表面形貌評(píng)定系統(tǒng)是整個(gè)儀器功能的重要組成部分。目前國(guó)內(nèi)外精密測(cè)量?jī)x器評(píng)定系統(tǒng)都是封閉式的,無(wú)法直接應(yīng)用于新研制的測(cè)量?jī)x,在一定程度上限制了表面形貌特征評(píng)定技術(shù)的研究與應(yīng)用。另外,表面形貌評(píng)定系統(tǒng)還與儀器的硬件測(cè)量系統(tǒng)相互關(guān)聯(lián)。因此,開發(fā)出一套表面形貌特征評(píng)定系統(tǒng)對(duì)于觸針式粗糙度輪廓儀的研制具有十分重要的意義。本文擬對(duì)研制中的觸針式粗糙度輪廓儀一維掃描系統(tǒng)的爬行特性、表面輪廓的特征分離技術(shù)及參數(shù)特征評(píng)定技術(shù)三個(gè)方面展開研究。首先,分析了一維掃描系統(tǒng)工作原理和微位移信號(hào)采集原理,建立了一維掃描系統(tǒng)的等效物理模型和動(dòng)力學(xué)方程,利用MATLAB中Simulink模塊進(jìn)行動(dòng)力學(xué)仿真,確定了影響一維掃描系統(tǒng)爬行現(xiàn)象的關(guān)鍵因素。其次,分析了測(cè)量?jī)x表面形貌信號(hào)采集系統(tǒng),采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的濾波算法以及先進(jìn)的濾波方法,分離了表面輪廓特征。分析了DXF文件的組成結(jié)構(gòu),研究了DXF文件開發(fā)技術(shù);赥aylorsurf PGI 635粗糙度輪廓儀表面形貌參數(shù)評(píng)定原理,采用VC++6.0進(jìn)行濾波處理結(jié)合AutoCAD顯示圖形的技術(shù),開發(fā)出了表面形貌評(píng)定軟件。再次,基于經(jīng)驗(yàn)?zāi)B(tài)分解方法,分解了表面基礎(chǔ)輪廓特征。采用非平穩(wěn)信號(hào)瞬時(shí)權(quán)重頻率,定義了本征模態(tài)函數(shù)單位長(zhǎng)度內(nèi)平均頻率的計(jì)算方法,推導(dǎo)出了評(píng)定長(zhǎng)度上的頻率。提出了可變幅度權(quán)重因子,并作用于具有最大頻率且頻率低于10的IMF,重構(gòu)出EMD混合中線,推導(dǎo)出EMD混合中線計(jì)算通式,形成了完整的EMD混合中線算法。最后,對(duì)一維掃描系統(tǒng)的爬行現(xiàn)象進(jìn)行了實(shí)時(shí)標(biāo)定實(shí)驗(yàn),對(duì)觸針式位移測(cè)量系統(tǒng)所采集的原始輪廓進(jìn)行表面輪廓分離和參數(shù)特征評(píng)定實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,一維掃描系統(tǒng)在最低掃描速度0.1 mm/s時(shí),0.275 s后爬行現(xiàn)象消失、運(yùn)行平穩(wěn)。高斯中線和EMD混合中線均可提取粗糙度輪廓,但EMD混合中線無(wú)邊界效應(yīng),可得到5個(gè)粗糙度特征參數(shù)值。
【關(guān)鍵詞】:表面形貌 爬行性 粗糙度輪廓 中線 經(jīng)驗(yàn)?zāi)B(tài)分解
【學(xué)位授予單位】:哈爾濱工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2016
【分類號(hào)】:TG84
【目錄】:
- 摘要4-5
- ABSTRACT5-10
- 第1章 緒論10-16
- 1.1 課題的來(lái)源10
- 1.2 課題研究的背景和意義10-11
- 1.3 觸針式粗糙度輪廓儀的研究現(xiàn)狀及分析11-15
- 1.3.1 國(guó)外研究現(xiàn)狀11-12
- 1.3.2 國(guó)內(nèi)研究現(xiàn)狀12-13
- 1.3.3 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀的分析13-15
- 1.4 主要研究?jī)?nèi)容15-16
- 第2章 微位移信號(hào)采集及系統(tǒng)爬行特性分析16-29
- 2.1 引言16
- 2.2 觸針式表面形貌測(cè)量原理16-18
- 2.2.1 一維掃描系統(tǒng)的組成及工作原理17
- 2.2.2 微位移信號(hào)采集原理17-18
- 2.3 一維掃描系統(tǒng)的爬行特性18-21
- 2.3.1 等效模型的建立18
- 2.3.2 數(shù)學(xué)模型的推導(dǎo)18-21
- 2.4 一維掃描系統(tǒng)爬行特性的仿真與分析21-28
- 2.4.1 仿真模型建立21-23
- 2.4.2 驅(qū)動(dòng)速度的影響23-24
- 2.4.3 掃描塊質(zhì)量的影響24-25
- 2.4.4 掃描系統(tǒng)剛度的影響25-26
- 2.4.5 系統(tǒng)阻尼的影響26-27
- 2.4.6 動(dòng)靜摩擦系數(shù)之差的影響27
- 2.4.7 仿真結(jié)果分析27-28
- 2.5 本章小結(jié)28-29
- 第3章 表面粗糙度分離算法29-45
- 3.1 引言29
- 3.2 輪廓參數(shù)的術(shù)語(yǔ)和定義29-30
- 3.3 濾波方法及參數(shù)評(píng)定30-39
- 3.3.1 2RC濾波31-32
- 3.3.2 高斯濾波32-33
- 3.3.3 Rk濾波33-34
- 3.3.4 穩(wěn)健高斯濾波34-36
- 3.3.5 樣條濾波36-37
- 3.3.6 小波濾波37-39
- 3.3.7 粗糙度參數(shù)評(píng)定39
- 3.4 表面形貌評(píng)定軟件開發(fā)39-44
- 3.4.1 軟件設(shè)計(jì)39-40
- 3.4.2 DXF文件開發(fā)40-44
- 3.4.2.1 DXF文件解析41
- 3.4.2.2 寫DXF文件41-42
- 3.4.2.3 讀取DXF文件42-44
- 3.5 本章小結(jié)44-45
- 第4章 基于EMD表面粗糙度的分離45-58
- 4.1 引言45
- 4.2 經(jīng)驗(yàn)?zāi)B(tài)分解45
- 4.3 EMD分解算法45-47
- 4.4 邊界延拓47-48
- 4.5 IMF頻率計(jì)算48-50
- 4.6 EMD參考線50-52
- 4.7 EMD中線52-54
- 4.8 EMD混合中線54-57
- 4.9 EMD混合中線算法總結(jié)57
- 4.10 本章小結(jié)57-58
- 第5章 實(shí)驗(yàn)與分析58-73
- 5.1 引言58
- 5.2 爬行現(xiàn)象實(shí)驗(yàn)58-63
- 5.2.1 實(shí)時(shí)標(biāo)定軟件設(shè)計(jì)58-60
- 5.2.2 爬行實(shí)驗(yàn)測(cè)量平臺(tái)搭建60-61
- 5.2.3 最低驅(qū)動(dòng)速度下的掃描塊爬行實(shí)驗(yàn)61-63
- 5.3 表面形貌特征評(píng)定63-73
- 5.3.1 表面形貌測(cè)量實(shí)驗(yàn)63-64
- 5.3.2 表面形貌濾波算法比對(duì)64-72
- 5.3.3 評(píng)定結(jié)果分析72-73
- 結(jié)論73-74
- 參考文獻(xiàn)74-78
- 攻讀碩士學(xué)位期間發(fā)表的論文及其他成果78-80
- 致謝80
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,本文編號(hào):836004
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