本文關(guān)鍵詞：微磨料水射流加工技術(shù)研究現(xiàn)狀

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【摘要】：現(xiàn)代制造技術(shù)正朝著產(chǎn)品小型化和加工過程微型化的方向不斷發(fā)展,用于加工微型零件的材料越來越難加工,對加工精度的要求也越來越高,當(dāng)前微細加工技術(shù)面臨巨大挑戰(zhàn).近十幾年來,微磨料水射流加工技術(shù)(射流直徑10~100μm)快速發(fā)展,已實現(xiàn)對金屬、陶瓷、光學(xué)玻璃、半導(dǎo)體以及復(fù)合材料等難加工材料的精密微細加工,其加工精度和表面質(zhì)量已達到激光加工水平,是一種具有廣闊應(yīng)用前景的新型微細加工技術(shù).為進一步了解該項技術(shù)的最新發(fā)展動態(tài),本文介紹了微磨料水射流加工技術(shù)的基本原理、研究現(xiàn)狀以及未來的發(fā)展趨勢.
【作者單位】： 哈爾濱工業(yè)大學(xué)精密工程研究所;
【關(guān)鍵詞】： 微磨料水射流 水射流切割 水射流加工 水射流拋光
【分類號】：TG664
【正文快照】： 近年來,為適應(yīng)產(chǎn)品小型化和加工過程微型化的發(fā)展趨勢,現(xiàn)代制造技術(shù)不斷向精密微細加工技術(shù)的開發(fā)及應(yīng)用與制造系統(tǒng)自動化兩大方向發(fā)展,精密微細加工技術(shù)已經(jīng)成為衡量一個國家制造技術(shù)整體水平的重要標志之一[1].隨著工業(yè)陶瓷、光學(xué)玻璃、高性能復(fù)合材料等的廣泛應(yīng)用,光學(xué)電子

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