本文關(guān)鍵詞：微透鏡陣列的飛秒激光加工方法

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【摘要】：為研究常用的微透鏡制造方法,通過(guò)熔融光刻膠法、反應(yīng)離子束刻蝕技術(shù)、微噴打印法、飛秒激光加工法、熱壓印法等的對(duì)比,表明采用飛秒激光加工以及局部腐蝕的方法,能夠加工各種形狀的微透鏡陣列,而且加工時(shí)間短,制造成本低,微透鏡最小特征尺寸可以達(dá)到30μm以內(nèi)。將飛秒激光加工的微透鏡陣列作為模板,運(yùn)用熱壓印技術(shù)進(jìn)行復(fù)制,不僅能夠獲得質(zhì)量良好的微透鏡陣列,還能夠批量化生產(chǎn),減小制造成本。
【作者單位】： 陜西國(guó)防工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 熔融光刻膠法 反應(yīng)離子束刻蝕技術(shù) 微噴打印法 飛秒激光加工法 熱壓印法
【基金】：陜西國(guó)防工業(yè)職業(yè)技術(shù)學(xué)院科研項(xiàng)目(Gfy15-09)
【分類號(hào)】：TG665
【正文快照】： 微透鏡陣列的光學(xué)性能和制造方法已經(jīng)有相關(guān)的研究。然而,在微透鏡排列和布置方面還有許多問(wèn)題值得研究,例如,不論微透鏡如何排列和布置,總會(huì)在相鄰微透鏡之間形成空隙,而這些空隙將會(huì)極大地影響出光強(qiáng)度和均勻度,因?yàn)閷?huì)有部分光落在這個(gè)空隙內(nèi),而不會(huì)被微透鏡會(huì)聚,形成所謂

【相似文獻(xiàn)】

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1 焦國(guó)華;李育林;胡寶文;;Mirau相移干涉法測(cè)量微透鏡陣列面形[J];光子學(xué)報(bào);2007年10期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 蔣豐澤;微透鏡陣列注射壓縮工藝與模具技術(shù)研究[D];中南大學(xué);2014年

2 尹可;基于微透鏡陣列的多光束共焦成像系統(tǒng)若干問(wèn)題的研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

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本文編號(hào)：659182