本文關(guān)鍵詞：活性屏等離子滲氮工藝中雙重輝光放電下氮的輸運(yùn)機(jī)理

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【摘要】：采用大尺寸銅質(zhì)活性屏進(jìn)行活性屏等離子滲氮處理,在距離活性屏不同位置處分別放置玻璃片,用來(lái)收集主電壓和偏壓同時(shí)存在時(shí),即等離子空間處于雙重輝光放電模式下陰極濺射產(chǎn)生的在滲氮過(guò)程中起到載體作用的納米粒子。通過(guò)對(duì)粒子形貌、化學(xué)成分進(jìn)行分析,以此揭示雙重輝光放電條件下活性屏離子氮化工藝中氮的輸運(yùn)機(jī)理。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:主電壓和偏壓同時(shí)存在時(shí),離活性屏距離不同的玻璃片上收集到的粒子形狀和尺寸與只加主電壓時(shí)有所不同;且隨著離活性屏距離的改變,粒子的形狀、尺寸及化學(xué)元素含量都不相同,但粒子中氮元素的含量都很高。分析認(rèn)為這是因?yàn)殡p重輝光放電條件下,活性屏和工件都會(huì)產(chǎn)生陰極濺射,因此收集到的濺射粒子的來(lái)源不同,一部分來(lái)源于活性屏濺射,而另一部分來(lái)源于偏壓引起工件表面產(chǎn)生的自濺射,對(duì)于距離活性屏較遠(yuǎn)的工件來(lái)說(shuō),施加在工作臺(tái)上上的偏壓是活性氮原子從氣相輸運(yùn)到工件表面的關(guān)鍵。
【作者單位】： 青島理工大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 活性屏等離子滲氮 雙重輝光放電 偏壓 輸運(yùn)機(jī)理 滲氮載體
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51307091)
【分類號(hào)】：TG156.82
【正文快照】： 自J.Georges[1-2]發(fā)明了活性屏離子滲氮(AS-PN)技術(shù)后便備受國(guó)內(nèi)外學(xué)者們的關(guān)注,ASPN技術(shù)不僅可以達(dá)到和直流離子滲氮(DCPN)技術(shù)一樣的處理效果,并能夠解決傳統(tǒng)DCPN技術(shù)存在的很多工藝及技術(shù)難題,甚至該技術(shù)可以對(duì)奧氏體不銹鋼和高分子材料進(jìn)行表面改性處理,所以ASPN被認(rèn)為是

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本文編號(hào)：607482