發(fā)布時間：2017-07-26 19:33

  本文關(guān)鍵詞：復(fù)合離子鍍TiCN薄膜的結(jié)構(gòu)與耐蝕性

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【摘要】：TiCN薄膜的耐蝕性研究對于擴(kuò)大其應(yīng)用領(lǐng)域具有重要作用。采用多弧離子鍍和磁控濺射復(fù)合離子鍍技術(shù)在304不銹鋼表面制備了TiCN薄膜,研究了工藝參數(shù)中脈沖偏壓對薄膜結(jié)構(gòu)與耐蝕性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明:隨著脈沖偏壓幅值的增大,TiCN薄膜表面白色顆粒、針孔及凹坑的尺寸、數(shù)量減少,其表面形貌得到改善,薄膜主要由TiCN相組成,隨著偏壓幅值的增加出現(xiàn)(111)晶面擇優(yōu)取向;隨著脈沖偏壓幅值的增大,TiCN薄膜在3.5%NaCl中的耐蝕性逐漸提高,在偏壓為-300 V時薄膜的自腐蝕電流密度為3.853μA/cm~2,是基體的0.51倍;薄膜在3.5%NaCl溶液中的阻抗譜呈現(xiàn)2個時間常數(shù),電極過程受電化學(xué)反應(yīng)和傳質(zhì)過程控制,在一定的脈沖偏壓范圍內(nèi),薄膜容抗弧的曲率半徑和阻抗值也隨偏壓幅值的升高而增大,即膜層的抗蝕能力增強(qiáng)。
【作者單位】： 遼寧工程技術(shù)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;天津師范大學(xué)物理與材料科學(xué)學(xué)院;冠銓(山東)光電科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 復(fù)合離子鍍 TiCN薄膜 脈沖偏壓 結(jié)構(gòu) 耐蝕性
【分類號】：TG174.4
【正文快照】： 3.冠銓(山東)光電科技有限公司,山東濟(jì)寧272000)0前言傳統(tǒng)的Ti C薄膜硬度比Ti N高,但由于脆性太大使得其應(yīng)用受到限制。Ti N薄膜由于具有高硬度、低摩擦系數(shù)、高的膜基結(jié)合力等優(yōu)良的綜合力學(xué)性能,已成為目前工業(yè)研究和應(yīng)用較為廣泛的薄膜材料之一;但是Ti N薄膜的抗氧化溫度僅

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