本文關(guān)鍵詞：銅及其合金無黃煙化學(xué)拋光

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【摘要】：正0前言化學(xué)拋光可提高銅及其合金制件的光亮度。傳統(tǒng)的化學(xué)拋光是在濃硫酸-硝酸-鹽酸中進(jìn)行的,其中硝酸的體積分?jǐn)?shù)高達(dá)400~500mL/L,拋光時(shí)有大量氮氧化物氣體逸出,不僅嚴(yán)重污染環(huán)境,而且危害人體健康。多年來,許多同行探索低硝酸或無硝酸化學(xué)拋光工藝,即無黃煙化學(xué)拋光工藝,取得了成效。現(xiàn)對(duì)該工藝做簡單介紹。1銅及其合金化學(xué)拋光機(jī)制與鋼鐵件、不銹鋼件的化學(xué)拋光一樣,銅及其合金化學(xué)拋光液由腐蝕劑、氧化劑(鈍化劑)及添加劑
【作者單位】： 洛陽立微電子有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 化學(xué)拋光;光亮度;鋼鐵件;氣體逸出;分?jǐn)?shù)高;人體健康;鈍化膜;鈍化劑;工件表面;拋光時(shí)間;
【分類號(hào)】：TG175.3
【正文快照】： 0前言化學(xué)拋光可提高銅及其合金制件的光亮度。傳統(tǒng)的化學(xué)拋光是在濃硫酸-硝酸-鹽酸中進(jìn)行的,其中硝酸的體積分?jǐn)?shù)高達(dá)400~500mL/L,拋光時(shí)有大量氮氧化物氣體逸出,不僅嚴(yán)重污染環(huán)境,而且危害人體健康。多年來,許多同行探索低硝酸或無硝酸化學(xué)拋光工藝,即無黃煙化學(xué)拋光工藝,取

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