本文關(guān)鍵詞：磁控濺射技術(shù)制備CrAlN涂層的研究進(jìn)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：概述了采用不同磁控濺射技術(shù)制備CrAlN涂層的國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì),重點(diǎn)分析了CrAlN涂層的結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能、涂層氧化行為與耐腐蝕性能。提出了不同磁控濺射制備工藝的進(jìn)一步優(yōu)化結(jié)合和新型磁控濺射制備工藝的研究是未來(lái)磁控濺射技術(shù)制備CrAlN涂層的新趨勢(shì),在進(jìn)一步提高CrAlN涂層性能的基礎(chǔ)上,需深入探究該類硬度涂層的工業(yè)新應(yīng)用潛力。
【作者單位】： 沈陽(yáng)理工大學(xué)裝備工程學(xué)院;沈陽(yáng)工業(yè)大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;遼寧省輕工科學(xué)研究院;沈陽(yáng)理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 CrAlN 涂層
【基金】：遼寧省教育廳重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室基礎(chǔ)研究資助項(xiàng)目(LZ2014013)
【分類號(hào)】：TG174.444
【正文快照】： 學(xué)研究院,沈陽(yáng)110036;4沈陽(yáng)理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院,沈陽(yáng)110159)0引言現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的迅速發(fā)展對(duì)材料提出了越來(lái)越高的要求,涂層材料的應(yīng)用也日益廣泛。在工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域,利用硬質(zhì)涂層進(jìn)行材料表面改性、裝飾與各種工模具表面強(qiáng)化是提高材料性能的一種經(jīng)濟(jì)實(shí)用途徑。表面涂層

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