本文關鍵詞：濺射工藝參數(shù)對TiAlSiN涂層硬度及膜基結合力的影響，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：近年來超硬涂層的出現(xiàn),為高速切削、干式切削的高質(zhì)量刀具的發(fā)展,提供了契機。本文開展了磁控濺射法制備TiAlSiN涂層的工藝研究,在不同工藝下,獲得了厚度2.0~4.0μm的TiAlSiN涂層,運用納米壓入硬度測試儀、劃痕儀和洛氏硬度計等對涂層性能進行表征,研究了制備工藝參數(shù)對涂層硬度、膜基結合力的影響規(guī)律。結果表明:隨著氮氬比、沉積溫度和基體負偏壓的增大,納米硬度和彈性模量都是先升高后降低。靶基距為8 cm、溫度為100℃、氮氬比為1/3、靶電流為1.5 A、基體負偏壓為-100 V時涂層的平均納米硬度超過40 GPa,達到了超硬水平;涂層與高速鋼基體的膜基結合力隨著靶基距的加大而降低,隨著磁控電流的增大而增大;在沉積溫度和基體負偏壓由低到高變化時,涂層結合力變化趨勢一致,都是先升高后降低。
【作者單位】： 北京航空航天大學機械學院702系;北京航天控制儀器研究所;
【關鍵詞】： TiAlSiN涂層 磁控濺射 濺射工藝參數(shù) 膜基結合力
【基金】：國家自然科學基金項目(NSFC:11275020) 國家04專項(2014ZX04012012) 中航通飛科技發(fā)展項目(TFKY2013002)
【分類號】：TG174.4
【正文快照】： 切削刀具在現(xiàn)代制造業(yè)的發(fā)展中發(fā)揮著重要作用,對刀具涂層可使刀具的切削能力大大提高。近年來,刀具涂層技術飛速發(fā)展,從最早的TiN涂層,已開發(fā)出TiCN、(Ti,Al)N、Al203、CrN、C3N4、ZrN等硬涂層、超硬涂層材料,以及Mo^、WSj、WC/C等軟涂層材 料[1。文獻[5]采用陰極電弧離子

  本文關鍵詞：濺射工藝參數(shù)對TiAlSiN涂層硬度及膜基結合力的影響，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：483083