復雜微小型零件一般是指尺寸大小為0.1mm～10mm,特征尺寸大小0.01mm～1mm,且具有復雜形貌特征的零件。隨著各學科不斷向著高精尖端發(fā)展,精密的復雜微小零件在各個領域發(fā)揮著越來越重要的作用。無論采用何種加工技術,要獲得合格的復雜微小精密零件,都需要先進的測量裝置及方法。由于精密復雜微小零件結構形態(tài)各異,復雜多變,現有三坐標測量裝置難以滿足其高精度、高效率的形位誤差測量要求。針對上述問題,本文研究目標為開發(fā)一種針對微小尺寸零件的幾何形位誤差多坐標測量及表征評價技術,主要內容為針對論文中給出的兩種待測復雜微小零件,應用五自由度精密測量平臺完成復雜微小零件測量軌跡規(guī)劃方法的研究,實現這兩種復雜微小零件的測量軌跡規(guī)劃。研究復雜微小零件的形位誤差表征和評價方法,研制復雜微小零件形位誤差圖形化的評價表征軟件,實現形位誤差表征的自動化。首先,針對復雜微小零件的特點,確定了合適的測量方案。并通過研究多軸加工軌跡行距計算方法,確定了測量軌跡行距的計算方法。對比了現有的測量數據采集步長方法,確定了適用于本論文的測量數據步長采集方法。完成了測頭軸矢量空間姿態(tài)的規(guī)劃,并基于曲率干涉檢測方法確定了測頭允...

【文章頁數】：89 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖1-1軍用微小機器人

哈爾濱工業(yè)大學工程碩士學位論文-1-第1章緒論1.1課題來源及研究的背景和意義1.1.1課題來源本課題來源于中國工程物理研究院機床專項工程項目。1.1.2課題研究的背景和意義在現代機械制造技術的發(fā)展主要方向之一是以超精密制造、微細加工、納米技術為代表的精密工程技術，隨著上述領域的....

圖1-2光刻機及其部件

哈爾濱工業(yè)大學工程碩士學位論文-1-第1章緒論1.1課題來源及研究的背景和意義1.1.1課題來源本課題來源于中國工程物理研究院機床專項工程項目。1.1.2課題研究的背景和意義在現代機械制造技術的發(fā)展主要方向之一是以超精密制造、微細加工、納米技術為代表的精密工程技術，隨著上述領域的....

圖1-3文獻中結構各異的ICF裝配靶[4-6]

哈爾濱工業(yè)大學工程碩士學位論文-2-ICF聚變裝置中，巨大的激光能量束都通過復雜的路徑最終會聚在ICF靶上。靶零件始終是ICF研究重要的物質基礎，其質量好壞對物理實驗結果具有很強的決定性。ICF靶結構復雜各異，是一種典型的精密復雜微小零件或其裝配體[4-6]。圖1-3文獻中結構各....

圖1-4本課題給出的兩種待測復雜微小零件本課題所研究技術能夠完成對項目中給出的精密復雜微小零件的測量軌跡規(guī)

哈爾濱工業(yè)大學工程碩士學位論文-3-圖1-4本課題給出的兩種待測復雜微小零件本課題所研究技術能夠完成對項目中給出的精密復雜微小零件的測量軌跡規(guī)劃、形位誤差評價與表征，實現對項目中給出的復雜微小零件進行精密的測量。還可以對其它任意給出的復雜精密微小零件（比如前文中提到的兵器、航天、....

本文編號：3971360